[实用新型]红外探测器用带通滤光片有效
| 申请号： | 201821592676.4 | 申请日： | 2018-09-28 |
| 公开（公告）号： | CN208737033U | 公开（公告）日： | 2019-04-12 |
| 发明（设计）人： | 单森林 | 申请（专利权）人： | 森霸传感科技股份有限公司 |
| 主分类号： | G02B5/20 | 分类号： | G02B5/20;G02B1/10 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 473300*** | 国省代码： | 河南;41 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 红外探测器 膜系 后表面 前表面 透过率 红外带通滤光片 截止 带通滤光片 硫化锌材料 传统滤光 工作波段 信噪比 锗材料 传感器 波段 基底 叠加 配合 | ||
1.一种红外探测器用8—14微米红外带通滤光片，其特征在于：包括基底，前表面膜系及后表面膜系，其中基底为硅片，前表面膜系是锗Ge材料和硫化锌ZnS材料相互叠加蒸镀而成的48层膜系，后表面膜系是锗Ge材料和硫化锌ZnS材料相互叠加蒸镀而成的13层膜系。
2.根据权利要求1所述的一种红外探测器用8—14微米红外带通滤光片，其特征在于：其前表面膜系第一层至第48层构成材料及厚度如下：173纳米Ge，272纳米ZnS，179纳米Ge，254纳米ZnS，166纳米Ge，321纳米ZnS，146纳米Ge，335纳米ZnS，126纳米Ge，304纳米ZnS，182纳米Ge，281纳米ZnS，158纳米Ge，345纳米ZnS，291纳米Ge，259纳米ZnS，242纳米Ge，285纳米ZnS，315纳米Ge，143纳米ZnS，212纳米Ge，357纳米ZnS，271纳米Ge，380纳米ZnS，220纳米Ge，602纳米ZnS，225纳米Ge，531纳米ZnS，181纳米Ge，548纳米ZnS，290纳米Ge，680纳米ZnS，218纳米Ge，521纳米ZnS，168纳米Ge，656纳米ZnS，347纳米Ge，683纳米ZnS，372纳米Ge，762纳米ZnS，371纳米Ge，710纳米ZnS，388纳米Ge，765纳米ZnS，362纳米Ge，639纳米ZnS，375纳米Ge，1459纳米ZnS。
3.根据权利要求1所述的一种红外探测器用8—14微米红外带通滤光片，其特征在于：其后表面膜系第一层至第13层构成材料及厚度如下：216纳米Ge，198纳米ZnS，2282纳米Ge，1152纳米ZnS，2124纳米Ge，1057纳米ZnS，2033纳米Ge，1079纳米ZnS，1977纳米Ge，1094纳米ZnS，2078纳米Ge，973纳米ZnS，982纳米Ge。
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