[实用新型]基片载板及具有该基片载板的MOCVD设备

权利要求书

1.一种基片载板，其特征在于，包括第一基板和第二基板，所述第一基板和第二基板对设的侧边上分别设有插头部和插座部，所述第一基板和所述第二基板之间通过所述插头部和所述插座部相对的插接组合。

2.根据权利要求1所述的基片载板，其特征在于，所述插头部和所述插座部分别向外伸出有互为反向对称的凸台，在所述插头部和插座部相对插接组合时，所述插头部的凸台与所述插座部的凸台之间具有表面契合的拼接面。

3.根据权利要求2所述的基片载板，其特征在于，所述凸台为阶梯结构。

4.根据权利要求2所述的基片载板，其特征在于，所述插头部的凸台和所述插座部的凸台上分别设有回勾段和回勾槽，在所述插头部和插座部相对插接组合时，所述插头部的回勾段插装在所述插座部的回勾槽内，且所述插座部的回勾段插装在所述插头部的回勾槽内。

5.根据权利要求4所述的基片载板，其特征在于，所述插头部的回勾段与所述插座部的回勾段互为反向对称设置。

6.根据权利要求1所述的基片载板，其特征在于，所述插座部上设有凹槽，所述插头部为向外延伸的凸起，在所述插头部和插座部相对插接组合时，所述插头部的凸起嵌入所述插座部的凹槽内，且所述插头部的凸起与所述插座部的凹槽之间具有表面契合的拼接面。

7.根据权利要求6所述的基片载板，其特征在于，所述凹槽和凸起之间的所述拼接面为弧面。

8.根据权利要求1-7任一项所述的基片载板，其特征在于，该基片载板还包括至少一个连接板，各个所述连接板顺序插接在所述第一基板和所述第二基板之间，每个所述连接板的一端设有所述插座部，每个所述连接板的另一端设有所述插头部。

9.根据权利要求1-7任一项所述的基片载板，其特征在于，所述第一基板和所述第二基板上分别设有载片区，在所述第一基板和所述第二基板插接组合时，所述第一基板的载片区与所述第二基板的载片区组合成完整载片槽。

10.一种MOCVD设备，其特征在于，包括如权利要求1-9任一项所述的基片载板。