[实用新型]石墨舟组件

权利要求书

1.一种石墨舟组件，其特征在于：包括用于装载硅片的石墨舟及用于支撑转动石墨舟的支撑座，所述石墨舟内具有沿第一方向间隔设置的若干石墨舟片，所述支撑座具有水平设置的支架及用于在第一方向驱动石墨舟转动的驱动机构，所述石墨舟片被驱动机构驱动而相较于水平面倾斜设置，使得硅片向下放入时可抵接到石墨舟片并沿石墨舟片表面向下滑入石墨舟内。

2.根据权利要求1所述的石墨舟组件，其特征在于：所述石墨舟具有底部及相对于底部设置用于插设硅片的开口，所述开口朝向与石墨舟片的倾斜方向一致。

3.根据权利要求2所述的石墨舟组件，其特征在于：所述石墨舟具有设置在石墨舟片上用于定位硅片的镂空硅片位，使得硅片沿着石墨舟片滑落而定位在镂空硅片位上。

4.根据权利要求3所述的石墨舟组件，其特征在于：所述镂空硅片位的边缘设置有用以将硅片固定在石墨舟片上的卡扣部。

5.根据权利要求3所述的石墨舟组件，其特征在于：所述石墨舟具有分别位于两端缘的第一端部和第二端部，倾斜设置时具有第一端部低于第二端部的第一位置和第一端部高于第二端部的第二位置，所述石墨舟片具有位于左侧的第一表面和位于右侧的第二表面，所述第一表面和第二表面均设置有所述镂空硅片位。

6.根据权利要求5所述的石墨舟组件，其特征在于：所述石墨舟位于第一位置时，所述石墨舟片的第二表面向上。

7.根据权利要求5所述的石墨舟组件，其特征在于：所述石墨舟位于第二位置时，所述石墨舟片的第一表面向上。

8.根据权利要求5所述的石墨舟组件，其特征在于：分别位于石墨舟片第一表面和第二表面上的所述镂空硅片位在上下方向上不重叠。

9.根据权利要求1所述的石墨舟组件，其特征在于：所述驱动机构包括设置在支架上与支架连动的转轴、与转轴一端相固定连接并带动转轴转动的第一齿轮、与第一齿轮啮合的第二齿轮及驱动所述第二齿轮转动的电机。

10.根据权利要求9所述的石墨舟组件，其特征在于：所述支撑座还包括设在支架上用于传送所述石墨舟进入工作区的传送机构、用于固定所述石墨舟的固定机构。