[实用新型]硅片载料舟

权利要求书

1.一种硅片载料舟，用于原子层沉积装置，设置于门体组件上，所述门体组件包括第二门板，

其特征在于，所述硅片载料舟包括载舟板和端板，所述载舟板固定连接所述第二门板，所述端板在所述载舟板的宽度方向上间隔设置在所述载舟板的两侧，

所述载舟板上位于所述端板之间设置有第一固定杆，所述端板之间设置有第二固定杆，所述第一固定杆上开设有多个水平设置的第一固定槽，所述第二固定杆上开设有多个竖直设置的第二固定槽，相邻的所述第一固定杆和所述第二固定杆上的所述第一固定槽和所述第二固定槽相对应。

2.根据权利要求1所述的硅片载料舟，其特征在于，所述第二固定杆在水平方向上双面开设有所述第二固定槽。

3.根据权利要求1所述的硅片载料舟，其特征在于，每个所述第一固定杆和2个所述第二固定杆相邻。

4.根据权利要求1所述的硅片载料舟，其特征在于，相邻2个所述第二固定杆关于之间的所述第一固定杆对称设置。

5.根据权利要求1所述的硅片载料舟，其特征在于，相邻2个所述第一固定槽通过第一隔断隔开，所述第一隔断呈自相邻的2个所述第一固定槽向所述第一隔断的顶部渐缩的形状。

6.根据权利要求1所述的硅片载料舟，其特征在于，相邻2个所述第二固定槽通过第二隔断隔开，所述第二隔断呈自相邻的2个所述第二固定槽向远离所述第二隔断的方向渐缩的形状。