[实用新型]硅片载料舟

说明书

本实用新型公开了一种硅片载料舟，用于原子层沉积装置，设置于门体组件上，门体组件包括第二门板。硅片载料舟包括载舟板和端板，载舟板固定连接第二门板，端板在载舟板的宽度方向上间隔设置在载舟板的两侧。载舟板上位于端板之间设置有第一固定杆，端板之间设置有第二固定杆，第一固定杆上开设有多个水平设置的第一固定槽，第二固定杆上开设有多个竖直设置的第二固定槽，相邻的第一固定杆和第二固定杆上的第一固定槽和第二固定槽相对应。本案中的硅片载料舟中，通过第一固定杆上的第一固定槽和第二固定杆上的第二固定槽共同作用，从多个方向将硅片稳定限制在载料舟上，避免载料舟移动过程中硅片发生位移，相互碰撞造成损坏。

技术领域

本实用新型涉及硅片加工领域，尤其涉及一种硅片载料舟。

背景技术

在相关技术中，用于搬运硅片的舟盒一般只有两侧的限位槽对硅片进行限制。当硅片的面积较大的时候，两侧的限位槽无法为硅片提供稳定可靠的支撑和保护，硅片容易发生晃动，甚至互相接触，发生碰撞，损坏硅片。

实用新型内容

本实用新型实施方式提供的一种硅片载料舟，用于原子层沉积装置，设置于门体组件上，所述门体组件包括第二门板，

所述硅片载料舟包括载舟板和端板，所述载舟板固定连接所述第二门板，所述端板在所述载舟板的宽度方向上间隔设置在所述载舟板的两侧，

所述载舟板上位于所述端板之间设置有第一固定杆，所述端板之间设置有第二固定杆，所述第一固定杆上开设有多个水平设置的第一固定槽，所述第二固定杆上开设有多个竖直设置的第二固定槽，相邻的所述第一固定杆和所述第二固定杆上的所述第一固定槽和所述第二固定槽相对应。

本实用新型实施方式中的硅片载料舟中，通过第一固定杆上的第一固定槽和第二固定杆上的第二固定槽共同作用，从多个方向将硅片稳定限制在载料舟上，避免载料舟移动过程中硅片发生位移，相互碰撞造成损坏。

在某些实施方式中，所述第二固定杆在水平方向上双面开设有所述第二固定槽。

在某些实施方式中，每个所述第一固定杆和2个所述第二固定杆相邻。

在某些实施方式中，相邻2个所述第二固定杆关于之间的所述第一固定杆对称设置。

在某些实施方式中，相邻2个所述第一固定槽通过第一隔断隔开，所述第一隔断呈自相邻的2个所述第一固定槽向所述第一隔断的顶部渐缩的形状。

在某些实施方式中，相邻2个所述第二固定槽通过第二隔断隔开，所述第二隔断呈自相邻的2个所述第二固定槽向远离所述第二隔断的方向渐缩的形状。

本实用新型实施方式的附加方面和优点将在下面的描述中部分给出，部分将从下面的描述中变得明显，或通过本实用新型的实践了解到。

附图说明

本实用新型的上述和/或附加的方面和优点从结合下面附图对实施方式的描述中将变得明显和容易理解，其中：

图1是本实用新型实施方式的硅片载料舟的立体结构示意图；

图2是本实用新型实施方式的硅片载料舟的平面结构示意图；

图3是图1中的硅片载料舟在I处的放大示意图；

图4是图2中的硅片载料舟在II处的放大示意图。

具体实施方式

下面详细描述本实用新型的实施方式，所述实施方式的示例在附图中示出，其中自始至终相同或类似的标号表示相同或类似的元件或具有相同或类似功能的元件。下面通过参考附图描述的实施方式是示例性的，仅用于解释本实用新型，而不能理解为对本实用新型的限制。