[实用新型]一种晶圆检测系统

权利要求书

1.一种晶圆检测系统，用于对晶圆传送盒内的晶圆进行检测，其特征在于，包括晶圆传送盒、数字图像处理模块及一沿重力方向延伸设置的机械手臂，所述机械手臂上包括第一图像采集模块，所述第一图像采集模块用于在所述机械手臂运动到设定位置时采集所述晶圆传送盒内的所有晶圆的第一图像数据；

所述晶圆传送盒的内侧壁上设置有用于采集所有所述晶圆的第二图像数据的第二图像采集模块；

所述第一图像数据为靠近所述机械手臂一侧的所述晶圆的图像数据；

所述第二图像数据为远离所述机械手臂一侧的其余的所述晶圆的图像数据；

所述第一图像采集模块和所述第二图像采集模块分别连接于所述数字图像处理模块，所述数字图像处理模块中存储有参考图像数据，所述数字图像处理模块用于分别将所述第一图像数据和所述第二图像数据与所述参考图像数据进行比对，并判定所述晶圆传送盒内的所述晶圆的位置及形变程度。

2.如权利要求1所述的一种晶圆检测系统，其特征在于，所述第二图像采集模块与所述晶圆之间还设置有一凹透镜，所述凹透镜连接于所述第二图像采集模块上，或者，所述凹透镜连接于所述晶圆传送盒上。

3.如权利要求1所述的一种晶圆检测系统，其特征在于，所述第二图像采集模块位于所述晶圆传送盒上远离所述机械手臂的一侧的内侧壁上。

4.如权利要求3所述的一种晶圆检测系统，其特征在于，所述第二图像采集模块位于所述晶圆传送盒上远离所述机械手臂的一侧的内侧壁的中间位置。

5.如权利要求1所述的一种晶圆检测系统，其特征在于，所述第一图像采集模块位于所述机械手臂的顶部。

6.如权利要求1所述的一种晶圆检测系统，其特征在于，所述第一图像采集模块和所述第二图像采集模块均为CCD光电图像传感器。

7.如权利要求1所述的一种晶圆检测系统，其特征在于，所述第一图像采集模块和所述第二图像采集模块均为CMOS图像传感器。

8.如权利要求1所述的一种晶圆检测系统，其特征在于，所述设定位置为所述晶圆传送盒沿垂直于所述机械手臂的对称面与所述机械手臂的交点位置。

9.如权利要求1所述的一种晶圆检测系统，其特征在于，还包括数据传送模块，所述数据传送模块分别与所述第一图像采集模块、所述第二图像采集模块和所述数字图像处理模块通信连接，所述数据传送模块用于分别传递所述第一图像数据和所述第二图像数据到所述数字图像处理模块中。