[实用新型]用于原子层沉积装置的双层门体组件

权利要求书

1.一种用于原子层沉积装置的双层门体组件，其特征在于，包括第一门板和第二门板，所述第一门板包括内侧面和外侧面，所述第二门板位于所述内侧面一侧且和所述第一门板间隔形成安装空间，所述第二门板在所述内侧面所在平面上的正投影位于所述内侧面上，

位于所述安装空间内的所述内侧面上设置有加热板，

连接杆活动穿设所述第一门板连接所述第二门板，所述外侧面上设置有导杆，调节板滑动设置在所述导杆上，所述连接杆连接所述调节板，

所述调节板和所述外侧面之间设置有驱动气缸，所述驱动气缸连接所述调节板。

2.根据权利要求1所述的用于原子层沉积装置的双层门体组件，其特征在于，所述第二门板远离所述第一门板的一侧设置有密封圈。

3.根据权利要求1所述的用于原子层沉积装置的双层门体组件，其特征在于，所述加热板通过固定杆和所述内侧面间隔设置。

4.根据权利要求3所述的用于原子层沉积装置的双层门体组件，其特征在于，所述固定杆上设置有反射屏，所述加热板设置在所述反射屏上。

5.根据权利要求4所述的用于原子层沉积装置的双层门体组件，其特征在于，所述加热板完全位于所述反射屏上。

6.根据权利要求1所述的用于原子层沉积装置的双层门体组件，其特征在于，所述第一门板和所述调节板之间的所述连接杆上套设有波纹管，所述波纹管和所述第一门板、所述调节板固定连接，所述波纹管可伸缩。

7.根据权利要求1所述的用于原子层沉积装置的双层门体组件，其特征在于，所述导杆末端设置有限位块，所述导杆上设置有限位板，所述限位板和所述限位块之间设置有弹簧垫圈。

8.根据权利要求1所述的用于原子层沉积装置的双层门体组件，其特征在于，所述驱动气缸为薄形气缸。