[实用新型]一种薄膜旋涂系统

权利要求书

1.一种薄膜旋涂系统，其特征在于，包括：

用于旋涂进料溶液的旋涂仪，所述旋涂仪上设置有基片；

进料装置，所述进料装置用于向所述旋涂仪提供进料溶液，所述进料装置包括：

注射模块和用于向所述注射模块提供预定量的进料溶液的供液机构；

所述注射模块包括：

用于容纳进料溶液的枪头，所述枪头上设置有出口，

用于将所述进料溶液以预定速度从所述出口推射至所述基片中心的推射机构。

2.如权利要求1所述的薄膜旋涂系统，其特征在于，还包括中央控制器，所述中央控制器与所述推射机构、供液机构中的至少一个电性连接，所述中央控制器用于控制所述推射机构、供液机构的工作状态。

3.如权利要求2所述的薄膜旋涂系统，其特征在于，所述枪头包括：注射腔和注射端；所述注射腔用于盛装固定量的进料溶液；所述注射端用于导出所述注射腔内的进料溶液，所述注射腔的横截面积大于所述注射端的横截面积，所述出口设置在所述注射端上，所述注射端中心线与水平面相垂直。

4.如权利要求3所述的薄膜旋涂系统，其特征在于，所述注射模块具有相对的顶面、底面以及位于所述顶面和底面之间的侧面，所述枪头的注射端位于所述注射模块的底面，所述注射模块的侧面设置有开口；

所述供液机构包括蠕动泵，所述开口与所述蠕动泵通过软管相连通。

5.一种薄膜旋涂系统，其特征在于，包括：

用于旋涂进料溶液的旋涂仪，所述旋涂仪上设置有基片；

进料装置，所述进料装置用于向所述旋涂仪提供进料溶液，所述进料装置包括：用于提供预定压力的进料溶液的动力泵、与所述动力泵相连通的注射模块；

所述注射模块设置有预定截面积的出口，由所述动力泵提供的预定压力的进料溶液通过所述出口输出至所述基片的中心。

6.如权利要求5所述的薄膜旋涂系统，其特征在于，还包括与所述动力泵电性连接的中央控制器，所述中央控制器能在所述动力泵开启预定时长后，关闭所述动力泵。

7.如权利要求6所述的薄膜旋涂系统，其特征在于，所述注射模块包括：用于注射进料溶液的枪头；所述枪头包括注射腔和注射端；所述注射腔用于盛装固定量的进料溶液；所述注射端用于导出所述注射腔内的进料溶液，所述出口设置在所述注射端上，所述注射端的中心线与水平面相垂直。

8.如权利要求7所述的薄膜旋涂系统，其特征在于，所述注射模块包括：第一注射模块和第二注射模块；

所述进料装置还包括步进电机，所述步进电机用于控制所述第一注射模块和所述第二注射模块进行移动。

9.如权利要求8所述的薄膜旋涂系统，其特征在于，所述步进电机包括丝杆，所述注射模块与所述丝杆通过套设在所述丝杆上的滑动块相连；所述注射模块位于所述滑动块的正下方。

10.如权利要求7所述的薄膜旋涂系统，其特征在于，所述薄膜旋涂系统还包括用于调节所述枪头与所述旋涂仪之间高度距离的支架或移动平台。