[实用新型]一种薄膜旋涂系统

说明书

本申请提供了一种薄膜旋涂系统，包括：用于旋涂进料溶液的旋涂仪，所述旋涂仪上设置有基片；进料装置，所述进料装置用于向所述旋涂仪提供进料溶液，其包括：注射模块和用于向所述注射模块提供预定量的进料溶液的供液机构；所述注射模块包括：用于容纳进料溶液的枪头，所述枪头上设置有出口；用于将所述进料溶液以预定速度从所述出口推射至所述基片中心的推射机构。本申请提供的薄膜旋涂系统能精确控制进料溶液的输出流量，获得厚度均一的薄膜，从而较佳地满足薄膜制备的要求。

技术领域

本申请涉及旋涂领域，具体涉及一种薄膜旋涂系统。

背景技术

薄膜是发展信息技术、生物技术、能源技术等领域和国防建设等各种器件的重要表面材料，其具有厚度薄、质量小等优点。目前，制备薄膜通常采用旋涂法进行制备。而在利用旋涂法制备薄膜的过程中不可避免地用到旋涂仪。

一个典型的旋涂过程主要包括：进料、高速旋转和干燥(溶剂挥发)三个步骤。首先，进料是将旋涂溶液滴注到放置在旋涂仪表面基片的中心位置上。同时开启旋涂仪，利用旋涂仪在高速旋转过程中的离心力将滴到基片表面的溶液铺展开来，以形成较为均匀的薄膜。最后通过干燥除去剩余的溶剂，可得到稳定的薄膜。

由于薄膜特定的参数(结构、厚度、面积等)影响到器件的性能。因此在实际制备薄膜的过程中，需要改变初始工况，如：进料溶液的浓度、进料溶液量、进料时间等实验条件，进行多次实验来获取薄膜，再将制备的薄膜器件的性能进行对比，从而确定效果最佳的薄膜材料。而薄膜的均匀性直接影响到各种器件的稳定性和可靠性。所以，在每次制备时，都需要获得厚度均一的薄膜。

然而现有技术中，利用旋涂法在制备薄膜的过程中一般采用人工手段进行进料。利用人工手段进行进料往往无法控制进料速度，若进料速度过快，将导致在滴注进料溶液时产生的冲击力过大，导致薄膜中心与薄膜四周的厚度不均匀，影响了薄膜表面的平整性。因此采用人工手段进料，无法获得厚度均一的薄膜，不能满足使用要求。

因此，有必要提供一种新的薄膜旋涂系统，获得厚度均一的薄膜。

实用新型内容

为实现上述目的，本申请提供了如下的技术方案：

一种薄膜旋涂系统，包括：用于旋涂进料溶液的旋涂仪，所述旋涂仪上设置有基片；进料装置，所述进料装置用于向所述旋涂仪提供进料溶液，其包括：注射模块和用于向所述注射模块提供预定量的进料溶液的供液机构；所述注射模块包括：用于容纳进料溶液的枪头，所述枪头上设置有出口，用于将所述进料溶液以预定速度从所述出口推射至所述基片中心的推射机构。

作为一种优选的实施方式，还包括中央控制器，所述中央控制器与所述推射机构、供液机构中的至少一个电性连接，用于控制所述推射机构、供液机构的工作状态。

作为一种优选的实施方式，所述枪头包括：注射腔和注射端；所述注射腔用于盛装固定量的进料溶液；所述注射端用于导出所述注射腔内的进料溶液，所述注射腔的横截面积大于所述注射端的横截面积，所述出口设置在所述注射端上，所述注射端的中心线与水平面相垂直。

作为一种优选的实施方式，所述注射模块具有相对的顶面、底面以及位于所述顶面和底面之间的侧面，所述枪头的注射端位于所述注射模块的底面，所述注射模块的侧面设置有开口；

所述供液机构包括蠕动泵，所述开口与所述蠕动泵通过软管相连通。

一种薄膜旋涂系统，包括：用于旋涂进料溶液的旋涂仪，所述旋涂仪上设置有基片；进料装置，所述进料装置用于向所述旋涂仪提供进料溶液，其包括：用于提供预定压力的进料溶液的动力泵、与所述动力泵相连通的注射模块；所述注射模块设置有预定截面积的出口，由所述动力泵提供的预定压力的进料溶液通过所述出口输出至所述基片的中心。

作为一种优选的实施方式，还包括与所述动力泵电性连接的中央控制器，所述中央控制器能在所述动力泵开启预定时长后，关闭所述动力泵。