[实用新型]一种单晶炉用的对中调节装置有效
申请号: | 201821628048.7 | 申请日: | 2018-10-08 |
公开(公告)号: | CN209114036U | 公开(公告)日: | 2019-07-16 |
发明(设计)人: | 王维 | 申请(专利权)人: | 北京北方华创真空技术有限公司 |
主分类号: | C30B29/06 | 分类号: | C30B29/06;C30B15/02 |
代理公司: | 北京路浩知识产权代理有限公司 11002 | 代理人: | 魏雪梅;麻雪梅 |
地址: | 100015 北京市*** | 国省代码: | 北京;11 |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | |||
搜索关键词: | 座板 调平 对中调节装置 底板 单晶炉 焊接波纹管 纵向调节孔 部件设置 横向通孔 板支撑 外边沿 止挡部 本实用新型 底板纵向 内部构造 平面调节 相对设置 纵向调节 纵向位置 对中性 上端面 坩埚轴 上端 产率 搭接 单晶 软轴 提拉 开口 支撑 | ||
1.一种单晶炉用的对中调节装置,其特征在于,包括:
底板;
调平座板,设置在所述底板的上方并与所述底板纵向相对设置并且间隔开,在所述调平座板的外边沿构造有纵向调节孔;
焊接波纹管,设置在所述底板和所述调平座板之间;
座板支撑,设置在所述底板和所述调平座板之间并位于所述焊接波纹管的外侧,所述调平座板的外边沿搭接在所述座板支撑的上端面,在所述座板支撑的上端面的外侧边沿构造有止挡部,在所述止挡部的内部构造有开口朝向所述调平座板的外侧面的横向通孔;
平面调节部件,设置在所述横向通孔内并能调节所述调平座板在水平面内的前、后、左以及右方向上的运动;以及
纵向调节部件,设置在所述纵向调节孔内并能调节所述调平座板的纵向位置。
2.根据权利要求1所述的单晶炉用的对中调节装置,其特征在于,在所述调平座板的中间区域构造有第一通孔,在所述底板的中间区域构造有第二通孔,所述焊接波纹管的上端嵌入所述第一通孔内,所述焊接波纹管的下端通过法兰上的法兰孔与所述第二通孔连接。
3.根据权利要求2所述的单晶炉用的对中调节装置,其特征在于,在所述第二通孔内安装有定位管,所述定位管位于所述焊接波纹管的正下方。
4.根据权利要求1所述的单晶炉用的对中调节装置,其特征在于,在所述调平座板上构造有安装孔,所述安装孔位于所述纵向调节孔的内侧。
5.根据权利要求4所述的单晶炉用的对中调节装置,其特征在于,在所述纵向调节孔内安装有调节垫,在所述调节垫的内部构造有第一纵向定位孔,在所述座板支撑的上端面构造有第二纵向定位孔,其中,通过转动所述平面调节部件,从而使得所述第一纵向定位孔的中心轴线与所述第二纵向定位孔的中心轴线重合。
6.根据权利要求3所述的单晶炉用的对中调节装置,其特征在于,在所述定位管的外围从上至下依次套设有多个环形进气管道,其中,相邻层的所述环形进气管道彼此连通。
7.根据权利要求6所述的单晶炉用的对中调节装置,其特征在于,在所述底板的上端面安装有进气弯管,所述对中调节装置还包括惰性气体室,其中,所述进气弯管的进气口与所述惰性气体室的出口连通,所述进气弯管的出气口与靠近所述底板的所述环形进气管道的进气口连通。
8.根据权利要求7所述的单晶炉用的对中调节装置,其特征在于,在各个所述环形进气管道的底壁上沿周向均呈等距式构造有多个出气口,其中,位于下层的所述环形进气管道的底壁上的出气口的数量是位于上层的所述环形进气管道的底壁上的出气口的数量的偶数倍。
9.根据权利要求2所述的单晶炉用的对中调节装置,其特征在于,在所述焊接波纹管的上端和所述第一通孔之间安装有密封部件。
10.根据权利要求1至9中任一项所述的单晶炉用的对中调节装置,其特征在于,所述座板支撑为多个并分别沿周向呈间隔式设置。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于北京北方华创真空技术有限公司,未经北京北方华创真空技术有限公司许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服】
本文链接:http://www.vipzhuanli.com/pat/books/201821628048.7/1.html,转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇:一种防漏硅护盘及单晶炉
- 下一篇:一种检测金属杂质和吸尘的制绒机