[实用新型]掺杂剂掺杂装置有效

专利信息
申请号: 201821641063.5 申请日: 2018-10-10
公开(公告)号: CN208844224U 公开(公告)日: 2019-05-10
发明(设计)人: 芮阳 申请(专利权)人: 宁夏银和半导体科技有限公司
主分类号: C30B15/04 分类号: C30B15/04;C30B29/06
代理公司: 宁夏合天律师事务所 64103 代理人: 孙彦虎
地址: 750021 宁夏回*** 国省代码: 宁夏;64
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摘要:
搜索关键词: 掺杂 支撑杆 工装 掺杂装置 掺杂剂 籽晶夹头 籽晶 连接机构 装入 吊装 本实用新型 可拆卸连接 吊钩 防止污染 分体设计 工作效率 局部损坏 螺纹连接 悬挂固定 整体更换 重复操作 拉晶炉 内环境 籽晶夹 钼材料 插装 取下 通孔 重锤 磨损 保证
【权利要求书】:

1.一种掺杂剂掺杂装置,其特征在于:所述掺杂剂掺杂装置与籽晶夹头可拆卸连接,籽晶夹头的一端与重锤螺纹连接,籽晶夹头的另一端夹持有籽晶,重锤通过拉绳悬吊在位于单晶炉副炉室上方的提拉机构上,在籽晶夹头的上设有水平的第一通孔,所述掺杂剂掺杂装置包括掺杂工装、掺杂单元,掺杂工装由钼材料制成,所述掺杂工装包括第一支撑杆、第一钩环、第二钩环、第一连接机构、第二连接机构、第三钩环、第四钩环、第二支撑杆、第五吊钩,第一支撑杆穿过第一通孔,并与第一通孔螺纹配合,以使第一支撑杆相对籽晶夹头位置固定,第一支撑杆的两端分别固定安装有第一钩环、第二钩环,第一连接机构包括第一吊钩、第一钼绳、第二吊钩,第一钼绳两端分别与第一吊钩、第二吊钩的连接端连接,第二连接机构包括第三吊钩、第二钼绳、第四吊钩,第二钼绳两端分别与第三吊钩、第四吊钩的连接端连接,第二支撑杆的两端分别固定安装有第三钩环、第四钩环,第二支撑杆中部具有一个向下弯曲段,在弯曲段钩挂第五吊钩,第一吊钩、第二吊钩、第三吊钩、第四吊钩分别钩挂第一钩环、第三钩环、第二钩环、第四钩环上,以将第二支撑杆吊装在籽晶夹头的下方,所述掺杂单元的顶部与第五吊钩的连接端连接,以将掺杂单元吊装在第二支撑杆的下方。

2.如权利要求1所述的掺杂剂掺杂装置,其特征在于:所述掺杂单元包括石英钟罩、第六吊钩、内筒,石英钟罩为圆顶状,石英钟罩中空,且底部开口,石英钟罩的外侧顶部中心安装有突出端,该突出端与第五吊钩的连接端铰接,第六吊钩的连接端与石英钟罩的内侧顶部中心固定连接,内筒的上端部具有一个吊耳,吊耳套入第六吊钩,以将内筒吊装在石英钟罩内腔中,内筒的内腔中盛装有掺杂元素。

3.如权利要求1或2所述的掺杂剂掺杂装置,其特征在于:所述弯曲段包括左倾斜段、右倾斜段,所述左倾斜段、右倾斜段与水平面之间均成第一角度设置,所述第五吊钩包括吊钩本体,所述吊钩本体具有两个夹持部,以及连接连接两个夹持部的弯曲部,所述弯曲部由弹性材料制成,其中一个夹持部具有一个自由端,另一个夹持部具有一个与石英钟罩的突出端连接的连接端,在两个夹持部相向内侧个各设置有第一加紧棒、第二加紧棒、第三加紧棒、第四加紧棒,第一加紧棒、第二加紧棒相互平行设置,第一加紧棒、第二加紧之间的距离小于第二支撑杆的直径,第一加紧棒与水平面之间成第一角度设置,第一加紧棒、第二加紧棒与第三加紧棒、第四加紧棒相对对称设置。

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