[实用新型]掺杂剂掺杂装置

说明书

一种掺杂剂掺杂装置，掺杂剂掺杂装置与籽晶夹头可拆卸连接，籽晶夹头的一端与重锤螺纹连接，所述掺杂剂掺杂装置包括掺杂工装、掺杂单元，本实用新型中，第一支撑杆插装在籽晶夹头的第一通孔中，整个掺杂工装利用第一支撑杆悬挂固定，掺杂时，不用再将籽晶取下，避免了重复操作将籽晶装入籽晶夹头上，提高了工作效率和安全性，并且保证了籽晶不会因二次装入而造成的磨损；第一支撑杆和第二支撑杆的两端分别通过第一连接机构、第二连接机构吊装连接，第五吊钩吊装于第二支撑杆上，掺杂工装这种分体设计还能避免局部损坏后需要整体更换，而增加成本，拉晶炉内环境要求严格，整个掺杂工装采用钼材料制成，能防止污染，整个掺杂工装轻巧，使用方便。

技术领域

本实用新型涉及直拉法生产单晶硅设备技术领域，特别涉及一种掺杂剂掺杂装置。

背景技术

目前，拉单晶掺杂时需将整个装籽晶夹头取下，然后再将掺杂工装挂至重锤上，进行掺杂。因硅料化完后温度很高，籽晶夹头的温度随之很高，人员操作时需佩戴耐高温手套，很不方便，并且掺杂结束后，需重复操作将籽晶装入重锤上，二次反复操作对籽晶造成很大的破坏，增加了籽晶破裂的几率，从而影响拉晶。

发明内容

有鉴于此，针对上述不足，有必要提出一种操作安全、不需要反复拆卸掺杂工装的掺杂剂掺杂装置。

一种掺杂剂掺杂装置，所述掺杂剂掺杂装置与籽晶夹头可拆卸连接，籽晶夹头的一端与重锤螺纹连接，籽晶夹头的另一端夹持有籽晶，重锤通过拉绳悬吊在位于单晶炉副炉室上方的提拉机构上，在籽晶夹头的上设有水平的第一通孔，所述掺杂剂掺杂装置包括掺杂工装、掺杂单元，掺杂工装由钼材料制成，所述掺杂工装包括第一支撑杆、第一钩环、第二钩环、第一连接机构、第二连接机构、第三钩环、第四钩环、第二支撑杆、第五吊钩，第一支撑杆穿过第一通孔，并与第一通孔螺纹配合，以使第一支撑杆相对籽晶夹头位置固定，第一支撑杆的两端分别固定安装有第一钩环、第二钩环，第一连接机构包括第一吊钩、第一钼绳、第二吊钩，第一钼绳两端分别与第一吊钩、第二吊钩的连接端连接，第二连接机构包括第三吊钩、第二钼绳、第四吊钩，第二钼绳两端分别与第三吊钩、第四吊钩的连接端连接，第二支撑杆的两端分别固定安装有第三钩环、第四钩环，第二支撑杆中部具有一个向下弯曲段，在弯曲段钩挂第五吊钩，第一吊钩、第二吊钩、第三吊钩、第四吊钩分别钩挂第一钩环、第三钩环、第二钩环、第四钩环上，以将第二支撑杆吊装在籽晶夹头的下方，所述掺杂单元的顶部与第五吊钩的连接端连接，以将掺杂单元吊装在第二支撑杆的下方。

优选的，所述掺杂单元包括石英钟罩、第六吊钩、内筒，石英钟罩为圆顶状，石英钟罩中空，且底部开口，石英钟罩的外侧顶部中心安装有突出端，该突出端与第五吊钩的连接端铰接，第六吊钩的连接端与石英钟罩的内侧顶部中心固定连接，内筒的上端部具有一个吊耳，吊耳套入第六吊钩，以将内筒吊装在石英钟罩内腔中，内筒的内腔中盛装有掺杂元素。

优选的，所述弯曲段包括左倾斜段、右倾斜段，所述左倾斜段、右倾斜段与水平面之间均成第一角度设置，所述第五吊钩包括吊钩本体，所述吊钩本体具有两个夹持部，以及连接连接两个夹持部的弯曲部，所述弯曲部由弹性材料制成，其中一个夹持部具有一个自由端，另一个夹持部具有一个与石英钟罩的突出端连接的连接端，在两个夹持部相向内侧个各设置有第一加紧棒、第二加紧棒、第三加紧棒、第四加紧棒，第一加紧棒、第二加紧棒相互平行设置，第一加紧棒、第二加紧之间的距离小于第二支撑杆的直径，第一加紧棒与水平面之间成第一角度设置，第一加紧棒、第二加紧棒与第三加紧棒、第四加紧棒相对对称设置。

本实用新型中，第一支撑杆插装在籽晶夹头的第一通孔中，整个掺杂工装利用第一支撑杆悬挂固定，掺杂时，不用再将籽晶取下，避免了重复操作将籽晶装入籽晶夹头上，提高了工作效率和安全性，并且保证了籽晶不会因二次装入而造成的磨损；第一支撑杆和第二支撑杆的两端分别通过第一连接机构、第二连接机构吊装连接，第五吊钩吊装于第二支撑杆上，掺杂工装这种分体设计还能避免局部损坏后需要整体更换，而增加成本，拉晶炉内环境要求严格，整个掺杂工装采用钼材料制成，能防止污染，整个掺杂工装轻巧，使用方便。