[实用新型]图形补偿装置、图形补偿系统、曝光机及彩膜工艺设备

权利要求书

1.一种图形补偿装置，其特征在于，该图形补偿装置包括：

第一光线变换模块，用于改变平行入射至所述第一光线变换模块的光线的方向；

第二光线变换模块，所述第一光线变换模块的出射光线为所述第二光线变换模块的入射光线，用于改变所述第一光线变换模块的出射光线的方向；以及

第三光线变换模块，所述第二光线变换模块的出射光线为所述第三光线变换模块的入射光线，用于将入射至所述第三光线变换模块的光线平行射出，

其中，所述第三光线变换模块的出射光线形成的图形相对于所述第一光线变换模块的入射光线形成的图形放大或缩小，以实现图形补偿。

2.根据权利要求1所述的图形补偿装置，其特征在于，该图形补偿装置还包括：

移动模块，与所述第一光线变换模块、所述第二光线变换模块和所述第三光线变换模块连接；以及

控制模块，与所述移动模块连接，用于通过所述移动模块控制所述第一光线变换模块、所述第二光线变换模块和所述第三光线变换模块中的至少一者在光线的传播方向上移动以改变所述第一光线模块与所述第二光线变换模块之前的距离和/或所述第二光线变换模块与所述第三光线变换模块之间的距离。

3.根据权利要求1或2所述的图形补偿装置，其特征在于，所述第一光线变换模块和/或所述第三光线变换为凹透镜。

4.根据权利要求1或2所述的图形补偿装置，其特征在于，所述第二光线变换模块为凸透镜。

5.一种图形补偿系统，其特征在于，该图形补偿系统包括：

至少一个第一图形补偿装置，被设置成对横轴方向上的入射光线形成的图形进行补偿；和/或

至少一个第二图形补偿装置，被设置成对纵轴方向上的入射光线形成的图形进行补偿；

其中，所述至少一个第一图形补偿装置和至少一个第二图形补偿装置为权利要求1-4中任一项所述的图形补偿装置，所述横轴和所述纵轴为垂直于光线传播方向的平面上的两个互相垂直的坐标轴。

6.一种曝光机，其特征在于，该曝光机包括权利要求5所述的图形补偿系统。

7.一种彩膜工艺设备，其特征在于，该彩膜工艺设备包括权利要求6所述的曝光机。