[实用新型]图形补偿装置、图形补偿系统、曝光机及彩膜工艺设备

说明书

本实用新型实施例提供一种图形补偿装置、图形补偿系统、曝光机及彩膜工艺设备，属于光学成像领域。该图形补偿装置包括：第一光线变换模块，用于改变平行入射至第一光线变换模块的光线的方向；第二光线变换模块，用于改变第一光线变换模块的出射光线的方向；以及第三光线变换模块，用于将入射至第三光线变换模块的光线平行射出，其中，第三光线变换模块的出射光线形成的图形相对于第一光线变换模块的入射光线形成的图形放大或缩小，以实现图形补偿。藉此，实现了调整平行入射的光线，实现图形补偿，扩大了图形补偿装置的应用范围。

技术领域

本实用新型涉及光学成像领域，具体地涉及图形补偿装置、图形补偿系统、曝光机及彩膜工艺设备。

背景技术

TFT-LCD彩膜工艺设备中的NSK曝光机仅有平面镜，或者通过驱动平面镜做不同程度的弯曲来达到调整平行光的目的。这种调整平行光的方式对平面镜的材质有一定的要求，不便于应用。

实用新型内容

本实用新型实施例的目的是提供一种图形补偿装置、图形补偿系统、曝光机及彩膜工艺设备，其可解决或至少部分解决上述问题。

为了实现上述目的，本实用新型的一个方面提供一种图形补偿装置，该图形补偿装置包括：第一光线变换模块，用于改变平行入射至所述第一光线变换模块的光线的方向；第二光线变换模块，所述第一光线变换模块的出射光线为所述第二光线变换模块的入射光线，用于改变所述第一光线变换模块的出射光线的方向；以及第三光线变换模块，所述第二光线变换模块的出射光线为所述第三光线变换模块的入射光线，用于将入射至所述第三光线变换模块的光线平行射出，其中，所述第三光线变换模块的出射光线形成的图形相对于所述第一光线变换模块的入射光线形成的图形放大或缩小，以实现图形补偿。

可选地，该图形补偿装置还包括：移动模块，与所述第一光线变换模块、所述第二光线变换模块和所述第三光线变换模块连接；以及控制模块，与所述移动模块连接，用于通过所述移动模块控制所述第一光线变换模块、所述第二光线变换模块和所述第三光线变换模块中的至少一者在光线的传播方向上移动以改变所述第一光线模块与所述第二光线变换模块之前的距离和/或所述第二光线变换模块与所述第三光线变换模块之间的距离。

可选地，所述第一光线变换模块和/或所述第三光线变换为凹透镜。

可选地，所述第二光线变换模块为凸透镜。

此外，本实用新型的另一方面提供一种图形补偿系统，该图形补偿系统包括：至少一个第一图形补偿装置，被设置成对横轴方向上的入射光线形成的图形进行补偿；和/或至少一个第二图形补偿装置，被设置成对纵轴方向上的入射光线形成的图形进行补偿；其中，所述至少一个第一图形补偿装置和至少一个第二图形补偿装置为上述的图形补偿装置，所述横轴和所述纵轴为垂直于光线传播方向的平面上的两个互相垂直的坐标轴。

另外，本实用新型的另一方面还提供一种曝光机，该曝光机包括上述的图形补偿系统。

另外，本实用新型的另一方面还提供一种膜工艺设备，该彩膜工艺设备包括上述的曝光机。

通过上述技术方案，利用光线转换模块对平行入射的光线的方向进行调整，使得从图形补偿装置射出的平行光线相对于平行入射的光线调整，从图形补偿装置射出的平行光线形成的图形相对于平行入射的光线形成的图形放大或缩小，以实现图形补偿，该图形补偿装置对光线转换模块的材质没有具体限制，使得图形补偿装置应用广泛，扩大了图形补偿装置的应用范围。

本实用新型的其它特征和优点将在随后的具体实施方式部分予以详细说明。

附图说明

附图是用来提供对本实用新型实施例的进一步理解，并且构成说明书的一部分，与下面的具体实施方式一起用于解释本实用新型实施例，但并不构成对本实用新型实施例的限制。在附图中：

图1是本实用新型一实施例提供的图形补偿装置的结构示意图；