[实用新型]一种单晶炉加热器有效
| 申请号： | 201821661911.9 | 申请日： | 2018-10-15 |
| 公开（公告）号： | CN209024677U | 公开（公告）日： | 2019-06-25 |
| 发明（设计）人： | 王永和;孟涛;王海庆 | 申请（专利权）人： | 包头美科硅能源有限公司 |
| 主分类号： | C30B15/14 | 分类号： | C30B15/14;C30B29/06 |
| 代理公司： | 南京利丰知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 32256 | 代理人： | 任立 |
| 地址： | 010000 内蒙古自治区*** | 国省代码： | 内蒙古;15 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 螺栓 加热器 加热器本体 硅蒸汽 连接座 护盖 本实用新型 加热电源 单晶炉 加热板 螺纹孔 制备技术领域 单晶硅 环形排列 上连接板 下连接板 依次连接 包覆的 包覆 竖直 下端 | ||
1.一种单晶炉加热器，包括加热器本体(1)以及加热电源，所述加热器本体(1)包括若干个竖直环形排列的加热板(2)，若干个所述加热板(2)通过上连接板(3)以及下连接板(4)依次连接，所述加热器本体(1)下端设置有用于与加热电源连接的连接座(5)，所述连接座(5)上开设有螺纹孔(6)，所述螺纹孔(6)内设置有加热器螺栓(7)，其特征在于：所述连接座(5)上设置有用于将加热器螺栓(7)包覆的螺栓护盖(8)。
2.根据权利要求1所述的一种单晶炉加热器，其特征在于：所述螺栓护盖(8)包括盖板(9)以及设置在盖板(9)下端的圆筒状侧板(10)，所述连接座(5)上开设有与侧板(10)相匹配的环形凹槽(11)。
3.根据权利要求2所述的一种单晶炉加热器，其特征在于：所述侧板(10)上相对的两侧均开设有沿盖板(9)轴线方向的开槽(12)，所述开槽(12)由侧板(10)的下端向上延伸且所述开槽(12)的上端与盖板(9)不接触，所述侧板(10)上开设有水平方向的限位槽(13)，所述限位槽(13)的槽口与开槽(12)连通，所述环形凹槽(11)内对应于限位槽(13)设置有限位块(14)。
4.根据权利要求3所述的一种单晶炉加热器，其特征在于：所述侧板(10)上开设有两条限位槽(13)，两条所述限位槽(13)位于侧板(10)相对的两侧。
5.根据权利要求1所述的一种单晶炉加热器，其特征在于：所述螺栓护盖(8)采用石墨制成。
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