[实用新型]一种单晶炉加热器

说明书

本实用新型公开了一种单晶炉加热器，涉及单晶硅制备技术领域，包括加热器本体以及加热电源，所述加热器本体包括若干个竖直环形排列的加热板，若干个所述加热板通过上连接板以及下连接板依次连接，所述加热器本体下端设置有用于与加热电源连接的连接座，所述连接座上开设有螺纹孔，所述螺纹孔内设置有加热器螺栓，所述连接座上设置有用于将加热器螺栓包覆的螺栓护盖。本实用新型中设置有螺栓护盖，螺栓护盖将加热器螺栓包覆住，隔绝了硅蒸汽，避免硅蒸汽直接与加热器螺栓接触，从而避免了加热器螺栓被硅蒸汽粘死，降低了加热器本体的拆取时间。

技术领域

本实用新型涉及单晶硅制备技术领域，特别是涉及一种单晶炉加热器。

背景技术

直拉单晶制造法是把原料多硅晶块放入石英坩埚中，在单晶炉中加热熔化，再将晶种浸入溶液中。在合适的温度下，溶液中的硅原子会顺着晶种的硅原子排列结构在固液交界面上形成规则的结晶，成为单晶体。把晶种微微的旋转向上提升，溶液中的硅原子会在前面形成的单晶体上继续结晶，并延续其规则的原子排列结构。若整个结晶环境稳定，就可以周而复始的形成结晶。

直拉法制备单晶硅时须使用石墨加热器对硅料进行加热熔化。石墨加热器中的加热器一般是通过加热器螺栓与加热电源连接。拉制单晶过程中由于硅液在高温时产生硅蒸汽，在氩气吹拂、主泵抽力作用下硅蒸汽向下运动，加热器螺栓容易被硅蒸汽粘死，使用现有方法敲加热器螺栓、锯加热器主腿导致石墨件有损伤，并且处理时间长，浪费工时，甚至导致石墨加热器直接报废。

实用新型内容

本实用新型所要解决的技术问题是，克服现有技术的缺点，提供一种单晶炉加热器。

为了解决以上技术问题，本实用新型的技术方案如下：

一种单晶炉加热器，包括加热器本体以及加热电源，所述加热器本体包括若干个竖直环形排列的加热板，若干个所述加热板通过上连接板以及下连接板依次连接，所述加热器本体下端设置有用于与加热电源连接的连接座，所述连接座上开设有螺纹孔，所述螺纹孔内设置有加热器螺栓，所述连接座上设置有用于将加热器螺栓包覆的螺栓护盖。

进一步地，螺栓护盖包括盖板以及设置在盖板下端的圆筒状侧板，连接座上开设有与侧板相匹配的环形凹槽。

前所述的一种单晶炉加热器，侧板上相对的两侧均开设有沿盖板轴线方向的开槽，开槽由侧板的下端向上延伸且开槽的上端与盖板不接触，侧板上开设有水平方向的限位槽，限位槽的槽口与开槽连通，环形凹槽内对应于限位槽设置有限位块。

前所述的一种单晶炉加热器，侧板上开设有两条限位槽，两条所述限位槽位于侧板相对的两侧。

前所述的一种单晶炉加热器，螺栓护盖采用石墨制成。

本实用新型的有益效果是：

（1）本实用新型在加热器螺栓外套接有螺栓护盖，螺栓护盖将加热器螺栓包覆住，隔绝了硅蒸汽，避免硅蒸汽直接与加热器螺栓接触，从而避免了加热器螺栓被硅蒸汽粘死，降低了加热器本体的拆取时间，同时也保护了加热器本体，延长了单井路加热器的使用寿命；

（2）本实用新型中螺栓护盖包括盖板和侧板，盖板与侧板形成一个密闭的空间，将加热器螺栓包覆在内，提高了螺栓护盖对加热器螺栓的保护效果；又在连接座上开设有与侧板相匹配的环形凹槽，侧板可嵌入环形凹槽内，进一步减小了螺栓护盖与连接座形成的间隙，进一步提高了螺栓护盖对硅蒸汽的防护效果，同时，提高了螺栓护盖与连接座连接的稳定性；

（3）本实用新型在螺栓护盖的侧板上开设有开槽以及限位槽，并在环形凹槽内设置有限位块，安装时将侧板嵌入环形凹槽内，使限位槽与限位块对齐，然后旋转螺栓护盖即可将螺栓护盖与连接板稳定连接，限位槽与限位块配合对螺栓护盖进行竖直方向的限位，而侧板与环形凹槽配合对螺栓护盖进行水平方向的限位，连接稳定性高；