[实用新型]一种连续式磁控溅射镀膜装置有效
| 申请号： | 201821663180.1 | 申请日： | 2018-10-12 |
| 公开（公告）号： | CN209412301U | 公开（公告）日： | 2019-09-20 |
| 发明（设计）人： | 来华杭;娄国明;江嘉;李赢 | 申请（专利权）人： | 浙江上方电子装备有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35 |
| 代理公司： | 杭州合信专利代理事务所(普通合伙) 33337 | 代理人： | 黄平英 |
| 地址： | 浙江省绍*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 阀板 压条 物料输送口 本实用新型 翻板阀 连续式 侧壁 压紧 磁控溅射镀膜设备 磁控溅射镀膜装置 长度方向移动 翻板阀结构 镀膜设备 活动连接 可翻转的 密封配合 密封性能 真空室 转轴 密封 | ||
【权利要求书】：
1.一种连续式磁控溅射镀膜设备，其特征在于，包括：
侧壁具有物料输送口的真空室；
密封所述物料输送口的翻板阀，具有绕转轴可翻转的阀板；
通过若干连杆与所述侧壁活动连接的压条，所述压条沿其长度方向移动时靠近或远离所述阀板，并在翻板阀关闭时压紧所述阀板。
2.如权利要求1所述的连续式磁控溅射镀膜设备，其特征在于，所述压条上设置有多个与阀板配合的滚轮。
3.如权利要求1所述的连续式磁控溅射镀膜设备，其特征在于，所述阀板包括板体以及若干连接转轴和板体的连接板，在翻板阀关闭时，所述压条接触压紧所述连接板接触压紧配合。
4.如权利要求3所述的连续式磁控溅射镀膜设备，其特征在于，所述压条上设置有多个与阀板配合的滚轮，所述滚轮与连接板一一对应设置。
5.如权利要求4所述的连续式磁控溅射镀膜设备，其特征在于，所述连接板的端部具有与滚轮配合的导向斜面。
6.如权利要求1所述的连续式磁控溅射镀膜设备，其特征在于，包括驱动压条移动的油缸，所述油缸的活塞杆通过连动杆与压条一端连接，所述连动杆两端分别与活塞杆和压条转动连接。
7.如权利要求1所述的连续式磁控溅射镀膜设备，其特征在于，所述物料输送口的内侧设置有用于支撑基片的托架。
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