[实用新型]一种连续式磁控溅射镀膜装置

说明书

本实用新型公开了一种连续式磁控溅射镀膜设备，包括：侧壁具有物料输送口的真空室；密封所述物料输送口可的翻板阀，具有绕转轴可翻转的阀板；通过若干连杆与所述侧壁活动连接的压条，所述压条沿其长度方向移动时靠近或远离所述阀板，并在翻板阀关闭时压紧所述阀板。本实用新型镀膜设备阀板与物料输送口密封配合，并利用压条压紧，相对于现有翻板阀结构简单，密封性能更加优良。

技术领域

本实用新型涉及一种镀膜装置，尤其涉及一种密封性能可靠的连续式磁控溅射镀膜装置。

背景技术

连续式磁控溅射镀膜装置的镀膜室前后设置有多级真空室，通过逐级增加或减小真空室内的大气压，最终确保镀膜室的真空度满足工艺条件。为便于基片从中通过，每个真空室两侧均具有开口，其中一侧开口设置有翻板阀，确保与前一级真空室隔离。

如CN202913052U公开了一种电容式触摸屏双面镀膜磁控溅射生产线，包括真空镀膜腔体和多个腔体支架，所述的真空镀膜腔体安装在多个腔体支架上，内部设有内传送系统，真空镀膜腔体依次分为进口真空段、进口缓冲真空段、进口过渡真空段、工艺镀膜真空段、出口过渡真空段、出口缓冲真空段和出口真空段七段；每段均设有抽气系统，真空腔体之间采用插板阀或翻板阀隔开，可以实现有效隔断，稳定工艺气体。

如CN207525333U公开了一种适用真空镀膜机的翻板阀装置，包括：用于安装在真空室和主阀腔之间的阀板结构；阀板结构包括用于导通或封闭真空室与主阀腔的阀板；用于带动阀板转动的转轴机构；以及，用于驱动转轴机构旋转的驱动机构，驱动机构包括驱动部件和齿轮齿条传动组件；驱动部件通过齿轮齿条传动组件带动阀板转动。虽然该翻板阀结构简单，但是密封性能欠佳。

如CN103470789公开了一种连续式真空镀膜线的真空腔室翻板阀，包括：一阀口；一阀板；一主传动轴，转动支承于真空腔室壁面上；一连杆，其第一端与主传动轴固定连接，其第二端伸至阀板的背面侧；一枢轴，将阀板与连杆的第二端枢轴连接；一倾角调整装置，由至少一对顶销机构组成，顶销机构包括销孔、滑动销、弹性元件以及螺钉；销孔设于连杆的第二端上，滑动销穿设于销孔中，其朝阀板背面的一端上设弹性元件，其另一端处设所述螺钉，以此螺钉顶压滑动销，滑动销端部的弹性元件抵压阀板的背面；一对顶销机构中的两个顶销机构在连杆长度方向上分列于枢轴的两侧；一旋转驱动机构，驱动主传动轴旋转。该翻板阀密封性能有所改善，但是结构复杂，不易于实现。

实用新型内容

本实用新型提供了一种连续式磁控溅射镀膜装置，解决了现有装置翻板阀结构复杂或密封性能欠佳的问题。

一种连续式磁控溅射镀膜设备，包括：

侧壁具有物料输送口的真空室；

密封所述物料输送口的翻板阀，具有绕转轴可翻转的阀板；

通过若干连杆与所述侧壁活动连接的压条，所述压条沿其长度方向移动时靠近或远离所述阀板，并在翻板阀关闭时压紧所述阀板。

优选的，所述压条上设置有多个与阀板配合的滚轮，在压条平移过程中，滚轮沿着压板滚动，可以逐渐压紧所述阀板，提高密封性能。

优选的，所述阀板包括板体以及若干连接转轴和板体的连接板，在翻板阀关闭时，所述压条接触压紧所述连接板接触压紧配合，该结构一方面便于阀板的组装和拆卸，另一方面板体不是直接连接转轴，也有助于阀板与物料输送口密封配合。

优选的，所述压条上设置有多个与阀板配合的滚轮，所述滚轮与连接板一一对应设置，滚轮与连接板配合，将压力传递给板体，使其与物料传输口密封配合。

优选的，所述连接板的端部具有与滚轮配合的导向斜面，可以逐渐压紧阀板。

优选的，包括驱动压条移动的油缸，所述油缸的活塞杆通过连动杆与压条一端连接，所述连动杆两端分别与活塞杆和压条转动连接，活塞杆伸缩时，驱动压条平移，由于连杆的拉扯，压条靠近或远离阀板。