[实用新型]石英承载器

权利要求书

1.一种石英承载器，用于固定晶圆片，其特征在于，所述石英承载器包括：

第一固定部，所述第一固定部的截面呈弧形；

固定轴，至少两个所述固定轴的一端与所述第一固定部的上表面相连接；

第二固定部，所述第二固定部的截面呈弧形，且所述第二固定部的上表面与至少两个所述固定轴的另一端相连接；

固定槽，至少两个所述固定槽设置在所述固定轴上，且使所述晶圆片嵌于所述固定槽中，以将所述晶圆片固定；

其中，相邻两个所述固定槽之间设置有间隔，且至少两个所述固定槽均匀设置在所述固定轴上。

2.根据权利要求1所述的石英承载器，其特征在于：

所述固定轴为四个，且四个所述固定轴沿所述第一固定部和所述第二固定部的中线均匀分部。

3.根据权利要求1所述的石英承载器，其特征在于，所述固定槽包括：

本体，所述本体为矩形槽；

引导部，所述引导部与所述本体相连接，且所述引导部截面的两侧边的距离由所述本体向背离所述本体方向逐渐增大。

4.根据权利要求3所述的石英承载器，其特征在于：

所述引导部截面的两侧边呈预定角度。

5.根据权利要求1所述的石英承载器，其特征在于，还包括：

固定座，所述固定座为实心轴，且至少一个所述固定座的一端与所述第一固定部的下表面相连接，所述固定座的另一端与所述第二固定部的下表面相连接。

6.根据权利要求5所述的石英承载器，其特征在于：

所述固定座为两个，且两个所述固定座沿所述第一固定部和所述第二固定部的中线均匀分部。

7.根据权利要求1所述的石英承载器，其特征在于，还包括：

连接轴，至少一个所述连接轴的一端与所述第一固定部的下表面相连接，且至少一个所述连接轴的另一端与所述第二固定部的下表面相连接。

8.根据权利要求7所述的石英承载器，其特征在于：

所述连接轴为两个，且两个所述连接轴沿所述第一固定部和所述第二固定部的中线均匀分部。

9.根据权利要求1至8中任一项所述的石英承载器，其特征在于：

所述石英承载器为石英体。