[实用新型]一种用于硅晶片双面研磨机上磨盘的止跌装置

权利要求书

1.一种用于硅晶片双面研磨机上磨盘的止跌装置，其特征在于，包括止跌环、插销座、插销件和推拉机构，所述止跌环固定在上磨盘升降杆的外周侧面上，所述止跌环的直径大于上磨盘升降杆的直径，所述插销座上设置有贯穿其顶面和底面的中空窗，所述插销座顶面两侧边缘设置有插销槽，所述插销座通过插销座固定螺栓孔固定安装在研磨机龙门架的横梁下面，安装时，所述插销座的中空窗垂直对中于上磨盘升降杆的中轴线，所述中空窗可使上磨盘升降杆和止跌环上下通过，所述插销槽作为插销件的横向滑动轨道，所述插销件的端部为插销脚，所述插销脚呈分叉状，两个插销脚的平行间距大于上磨盘升降杆的直径，并且小于止跌环的直径，所述推拉机构与插销件固定连接，用于驱动插销件运动。

2.根据权利要求1所述的用于硅晶片双面研磨机上磨盘的止跌装置，其特征在于，所述止跌环采用内嵌式螺杆固定在上磨盘升降杆上。

3.根据权利要求1所述的用于硅晶片双面研磨机上磨盘的止跌装置，其特征在于，所述推拉机构为推拉气缸。

4.根据权利要求3所述的用于硅晶片双面研磨机上磨盘的止跌装置，其特征在于，所述推拉气缸的推拉杆与插销件的端部固定连接，所述推拉气缸固定在研磨机龙门架的横梁下面。

5.根据权利要求3所述的用于硅晶片双面研磨机上磨盘的止跌装置，其特征在于，所述推拉气缸采用缓冲型、双作用气缸。

6.根据权利要求1所述的用于硅晶片双面研磨机上磨盘的止跌装置，其特征在于，所述止跌环、插销座、插销件均为不锈钢制成。