[实用新型]一种用于磊晶基板的刻蚀机台有效
| 申请号： | 201821681825.4 | 申请日： | 2018-10-17 |
| 公开（公告）号： | CN208738197U | 公开（公告）日： | 2019-04-12 |
| 发明（设计）人： | 游张鑫;陈景瑞;方灿杰 | 申请（专利权）人： | 福建汉晶光电科技有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/67 | 分类号： | H01L21/67;H01L21/687 |
| 代理公司： | 广州京诺知识产权代理有限公司 44407 | 代理人： | 沈威 |
| 地址： | 363300 福建省*** | 国省代码： | 福建;35 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 通孔 基板 滑板 刻蚀 本实用新型 底端侧壁 固定机构 刻蚀机台 磊晶基板 刻蚀机 移动板 移动块 侧壁 人工手动调节 顶端安装 顶端侧壁 顶端焊接 对称设置 滑动连接 内部设置 人工误差 需求调节 对基板 海绵垫 弹簧 放入 夹紧 松弛 取出 | ||
1.一种用于磊晶基板的刻蚀机台，包括刻蚀机本体(1)，其特征在于，所述刻蚀机本体(1)包括第一通孔(2)，第一通孔(2)的底端侧壁设置有移动板(3)，移动板(3)的顶端焊接有对称设置的移动块(4)，移动块(4)相互靠近的一侧侧壁开设有第二通孔(5)，第二通孔(5)的内部设置有固定机构，固定机构包括滑动连接在第二通孔(5)一侧侧壁的滑板(6)，滑板(6)的底端侧壁连接有海绵垫(7)，所述滑板(6)的顶端安装有与第二通孔(5)顶端侧壁连接的弹簧(8)，所述移动板(3)的一侧侧壁开设有第一凹槽(12)，第一凹槽(12)的内部设置有调节机构，所述移动块(4)的外侧壁连接有第一滑轮(9)、第二滑轮(10)，且第一滑轮(9)、第二滑轮(10)均与移动块(4)垂直设置，所述移动板(3)的两侧外壁连接有第三滑轮(11)。
2.根据权利要求1所述的一种用于磊晶基板的刻蚀机台，其特征在于，所述调节机构包括通过螺栓连接在第一凹槽(12)侧壁的轴承座，轴承座的内部连接有转轴(13)，转轴(13)远离轴承座的一端延伸至第一凹槽(12)外部焊接有转板(14)，且转轴(13)与转板(14)之间垂直设置。
3.根据权利要求2所述的一种用于磊晶基板的刻蚀机台，其特征在于，所述转轴(13)的外侧壁焊接有绕线盘(15)，绕线盘(15)上开设有对称设置的绕线槽(16)，绕线槽(16)上连接有调节线(17)，且两根所述调节线(17)的绕线方向相反。
4.根据权利要求3所述的一种用于磊晶基板的刻蚀机台，其特征在于，所述调节线(17)远离绕线盘(15)的一端依次穿过第三滑轮(11)、第二滑轮(10)、第一滑轮(9)延伸至第二通孔(5)内部与滑板(6)顶端连接。
5.根据权利要求1所述的一种用于磊晶基板的刻蚀机台，其特征在于，所述第一通孔(2)的底端侧壁沿其长度方向开设有第二凹槽(18)，第二凹槽(18)的底端侧壁滑动连接有滑块(19)，滑块(19)的顶端与移动板(3)的底端侧壁焊接。
6.根据权利要求1所述的一种用于磊晶基板的刻蚀机台，其特征在于，所述刻蚀机本体(1)的一侧外壁连接有推杆电机(20)，推杆电机(20)的输出轴延伸至第二凹槽(18)内部与滑块(19)侧壁连接。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于福建汉晶光电科技有限公司，未经福建汉晶光电科技有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/pat/books/201821681825.4/1.html，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种芯片键合装置
- 下一篇：一种用于图案化蓝宝石基板的光学缺陷检查机
- 同类专利
- 专利分类
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
