[实用新型]一种用于磊晶基板的刻蚀机台

说明书

本实用新型公开了一种用于磊晶基板的刻蚀机台,包括刻蚀机本体，刻蚀机本体包括第一通孔，第一通孔的底端侧壁设置有移动板，移动板的顶端焊接有对称设置的移动块，移动块相互靠近的一侧侧壁开设有第二通孔，第二通孔的内部设置有固定机构，固定机构包括滑动连接在第二通孔一侧侧壁的滑板，滑板的底端侧壁连接有海绵垫，滑板的顶端安装有与第二通孔顶端侧壁连接的弹簧。本实用新型能够对不同厚度的基板进行固定，便于对不同类型的基板进行刻蚀处理，能够根据需求对基板进行夹紧或松弛，便于工作人员进行取出或放入基板，而且能够根据刻蚀需求调节基板的位置，无需人工手动调节，避免了人工误差，提高了刻蚀精度。

技术领域

本实用新型涉及刻蚀技术领域，尤其涉及一种用于磊晶基板的刻蚀机台。

背景技术

刻蚀，它是半导体制造工艺，微电子IC制造工艺以及微纳制造工艺中的一种相当重要的步骤。是与光刻相联系的图形化处理的一种主要工艺。

激光刻蚀机在使用过程中，往往直接将基板放置在刻蚀槽内，然后通过激光在基板表面进行刻蚀，但基板在刻蚀过程中，无法根据刻蚀需求移动基板，移动都是需要人工手动进行移动，每次移动后，都需要进行重新定位，影响刻蚀精度，而且对基板的固定较为麻烦，为此，我们提出了一种用于磊晶基板的刻蚀机台。

实用新型内容

本实用新型的目的是为了解决现有技术中存在的缺点，而提出的一种用于磊晶基板的刻蚀机台。

为了实现上述目的，本实用新型采用了如下技术方案：

一种用于磊晶基板的刻蚀机台，包括刻蚀机本体，所述刻蚀机本体包括第一通孔，第一通孔的底端侧壁设置有移动板，移动板的顶端焊接有对称设置的移动块，移动块相互靠近的一侧侧壁开设有第二通孔，第二通孔的内部设置有固定机构，固定机构包括滑动连接在第二通孔一侧侧壁的滑板，滑板的底端侧壁连接有海绵垫，所述滑板的顶端安装有与第二通孔顶端侧壁连接的弹簧，所述移动板的一侧侧壁开设有第一凹槽，第一凹槽的内部设置有调节机构，所述移动块的外侧壁连接有第一滑轮、第二滑轮，且第一滑轮、第二滑轮均与移动块垂直设置，所述移动板的两侧外壁连接有第三滑轮。

优选的，所述调节机构包括通过螺栓连接在第一凹槽侧壁的轴承座，轴承座的内部连接有转轴，转轴远离轴承座的一端延伸至第一凹槽外部焊接有转板，且转轴与转板之间垂直设置。

优选的，所述转轴的外侧壁焊接有绕线盘，绕线盘上开设有对称设置的绕线槽，绕线槽上连接有调节线，且两根所述调节线的绕线方向相反。

优选的，所述调节线远离绕线盘的一端依次穿过第三滑轮、第二滑轮、第一滑轮延伸至第二通孔内部与滑板顶端连接。

优选的，所述第一通孔的底端侧壁沿其长度方向开设有第二凹槽，第二凹槽的底端侧壁滑动连接有滑块，滑块的顶端与移动板的底端侧壁焊接。

优选的，所述刻蚀机本体的一侧外壁连接有推杆电机，推杆电机的输出轴延伸至第二凹槽内部与滑块侧壁连接。

本实用新型有益效果是：

1：通过设置的固定机构，能够对不同厚度的基板进行固定，便于对不同类型的基板进行刻蚀处理；

2：通过设置的调节机构，能够根据需求对基板进行夹紧或松弛，便于工作人员进行取出或放入基板；

3：通过设置的推杆电机、滑块之间的配合，能够根据刻蚀需求调节基板的位置，无需人工手动调节，避免了人工误差，提高了刻蚀精度；

本实用新型能够对不同厚度的基板进行固定，便于对不同类型的基板进行刻蚀处理，能够根据需求对基板进行夹紧或松弛，便于工作人员进行取出或放入基板，而且能够根据刻蚀需求调节基板的位置，无需人工手动调节，避免了人工误差，提高了刻蚀精度。

附图说明