[实用新型]一种用于图案化蓝宝石基板的光学缺陷检查机有效
申请号: | 201821682118.7 | 申请日: | 2018-10-17 |
公开(公告)号: | CN208738198U | 公开(公告)日: | 2019-04-12 |
发明(设计)人: | 陈景瑞;方灿杰 | 申请(专利权)人: | 福建汉晶光电科技有限公司 |
主分类号: | H01L21/67 | 分类号: | H01L21/67;H01L21/66 |
代理公司: | 广州京诺知识产权代理有限公司 44407 | 代理人: | 沈威 |
地址: | 363300 福建省*** | 国省代码: | 福建;35 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 检查机 通孔 底端侧壁 移动板 侧壁 本实用新型 蓝宝石基板 光学缺陷 图案化 基板 挡板 大小调节 对称设置 基板位置 两端焊接 内部连通 内部设置 检查 放置槽 连接杆 | ||
1.一种用于图案化蓝宝石基板的光学缺陷检查机,包括检查机本体(1),其特征在于,所述检查机本体(1)包括第一机体(101)和第二机体(102),第一机体(101)的一侧侧壁开设有第一通孔(2),所述第二机体(102)的底端侧壁开设有第一凹槽(3),且第一凹槽(3)与第一通孔(2)内部连通,所述第一通孔(2)的底端侧壁开设有第二凹槽(5),第二凹槽(5)的内部设置有调节机构,所述第一通孔(2)的底端侧壁安装有对称设置的移动板(4),移动板(4)相互靠近的一侧侧壁两端焊接有连接杆(20),所述移动板(4)相互靠近的一侧侧壁开设有放置槽(6),所述移动板(4)的一侧侧壁开设有多个对称设置的第二通孔(7),第二通孔(7)内部滑动连接有滑板(8),滑板(8)的一端延伸至第二通孔(7)外部焊接有连接板(9),且连接板(9)的另一端共同焊接有挡板(10),其中一个所述第二通孔(7)的内部设置有距离机构。
2.根据权利要求1所述的一种用于图案化蓝宝石基板的光学缺陷检查机,其特征在于,所述距离机构包括开设在滑板(8)侧壁的第三通孔(12),第三通孔(12)的一侧侧壁开设有第一齿条(14),所述第二通孔(7)的一侧侧壁转动连接有转轴(11),转轴(11)的另一端穿过第三通孔(12)延伸至第二通孔(7)外部焊接有转板(15),且转轴(11)的外侧壁焊接有第一齿轮(13),第一齿轮(13)与第一齿条(14)啮合传动。
3.根据权利要求1所述的一种用于图案化蓝宝石基板的光学缺陷检查机,其特征在于,所述调节机构包括转动连接在第二凹槽(5)一侧侧壁的主动轴(16),主动轴(16)的另一端延伸至第二凹槽(5)外部焊接有调节板(17),且调节板(17)与主动轴(16)之间垂直设置,所述主动轴(16)的外侧壁焊接有第二齿轮(18)。
4.根据权利要求1所述的一种用于图案化蓝宝石基板的光学缺陷检查机,其特征在于,其中一个所述移动板(4)的底端侧壁沿其长度方向开设有第二齿条(19),且第二齿轮(18)与第二齿条(19)之间啮合传动连接。
5.根据权利要求1所述的一种用于图案化蓝宝石基板的光学缺陷检查机,其特征在于,所述挡板(10)的顶端与放置槽的底端侧壁平齐,且挡板(10)与连接板(9)之间垂直设置。
6.根据权利要求1所述的一种用于图案化蓝宝石基板的光学缺陷检查机,其特征在于,所述移动板(4)、挡板(10)均采用透明材料制成。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造