[实用新型]一种高效率真空镀膜机

权利要求书

1.一种高效率真空镀膜机，其包括真空镀膜室，在所述真空镀膜室内安装有制冷盘管，对应所述制冷盘管的位置安装有用于加热所述制冷盘管的加热器，其特征是，所述真空镀膜机还包括密封罩和直线运动机构，所述密封罩安装在所述直线运动机构上，由所述直线运动机构带动所述密封罩直线运动，所述密封罩位于所述真空镀膜室内并与所述制冷盘管的位置对应，所述密封罩可密封罩住所述制冷盘管，对应所述制冷盘管的位置安装有抽气接头，所述抽气接头用于与外部的抽气泵连接，从而抽取在密封罩罩住制冷盘管时所述密封罩内的空气。

2.根据权利要求1所述的高效率真空镀膜机，其特征在于：所述直线运动机构包括气缸和动密封组件，所述气缸安装在所述真空镀膜室外表面，所述气缸的活塞杆穿过真空镀膜室壁板上的穿孔，所述活塞杆的穿入所述真空镀膜室内的端部与所述密封罩连接，在所述真空镀膜室的穿孔处通过所述动密封组件实现密封。

3.根据权利要求2所述的高效率真空镀膜机，其特征在于：所述动密封组件包括组件安装座，在所述组件安装座的中间设有密封圆管，所述活塞杆穿过密封圆管，所述密封圆管与所述活塞杆之间通过骨架油封实现密封。

4.根据权利要求3所述的高效率真空镀膜机，其特征在于：所述动密封组件还包括导油环、油杯和注油管，所述导油环安装在所述密封圆管内，所述密封圆管的对应导油环的位置开设有侧孔，所述油杯通过所述注油管与侧孔连接。

5.根据权利要求4所述的高效率真空镀膜机，其特征在于：所述动密封组件还包括压紧螺母，在所述密封圆管内设置有台阶，所述骨架油封抵靠在台阶上，所述压紧螺母螺纹连接在所述密封圆管的外端，所述骨架油封压紧在所述压紧螺母与台阶之间，所述活塞杆从压紧螺母的中间孔穿过。

6.根据权利要求3至5任意一项所述的高效率真空镀膜机，其特征在于：所述组件安装座包括第一安装板、第二安装板、第三安装板、固定杆和密封固定环，所述第一安装板、第二安装板和第三安装板的中间分别开有第一中孔、第二中孔和第三中孔，所述密封固定环的一端密封固定连接在所述真空镀膜室的外表面上，另一端与所述第一安装板的一端面密封固定连接，所述第二安装板通过螺栓固定安装在所述第一安装板的另一端面，所述第二安装板与所述第一安装板之间设有安装板密封圈，所述密封圆管密封插装在所述第二中孔中，所述第三安装板通过所述固定杆固定安装在所述第一安装板上，所述气缸安装在所述第三安装板的外端面，所述第一中孔、密封圆管的中间孔、第三中孔、密封固定环的中间孔和真空镀膜室的穿孔相互对应。

7.根据权利要求1所述的高效率真空镀膜机，其特征在于：在所述真空镀膜室的侧壁上设置有向外凸的制冷盘管舱，所述制冷盘管安装在所述制冷盘管舱的制冷盘管舱密封底板上，所述直线运动机构对应安装在制冷盘管舱的上面。

8.根据权利要求1所述的高效率真空镀膜机，其特征在于：所述制冷盘管通过盘管固定座安装在所述真空镀膜室内，所述盘管固定座包括固定盘和多条支承杆，所述固定盘固定安装在真空镀膜室的内面，多条支承杆垂直固定在固定盘上，多条支承杆按圆周分布，所述制冷盘管位于支承杆之间，所述制冷盘管的侧边与支承杆固定连接。

9.根据权利要求8所述的高效率真空镀膜机，其特征在于：所述盘管固定座通过多组隔热连接组件与真空镀膜室的内面连接，所述隔热连接组件包括隔热固定块、螺纹杆、锁紧螺母和两个隔热环，所述固定盘对应所述隔热连接组件的位置分别开有隔热孔，两个所述隔热环分别插装在所述隔热孔的两端，所述隔热固定块固定在所述真空镀膜室的内面，所述螺纹杆固定在隔热固定块上，所述螺纹杆依次穿过两隔热环，在所述螺纹杆的外端螺纹连接有锁紧螺母。

10.根据权利要求1所述的高效率真空镀膜机，其特征在于：在所述密封罩的开口端设置有密封罩端部密封圈。