[实用新型]一种高效率真空镀膜机

说明书

本实用新型公开了一种高效率真空镀膜机，其包括真空镀膜室，在真空镀膜室内安装有制冷盘管，对应制冷盘管的位置安装有用于加热制冷盘管的加热器，其特征是，真空镀膜机还包括密封罩和直线运动机构，密封罩安装在直线运动机构上，由直线运动机构带动密封罩直线运动，密封罩位于真空镀膜室内并与制冷盘管的位置对应，密封罩可密封罩住制冷盘管，对应制冷盘管的位置安装有抽气接头，抽气接头用于与外部的抽气泵连接，从而抽取在密封罩住制冷盘管时密封罩内的空气。本实用新型提高了吸附效率、工作效率，能使真空镀膜室内获得更洁净的真空环境。

技术领域

本实用新型涉及一种高效率真空镀膜机。

背景技术

真空镀膜机的镀膜室内在高真空环境时所残留气体80％以上是水蒸汽，还有其它高沸点蒸汽，若用油扩散泵用作主抽气泵则还会残留有油蒸汽，但抽气系统抽除这些残留气体的能力低、需时间长，而且所有残留气体还会污染工件，从而使产品的产量和质量受影响。要提高抽气效率，首要必须提高排除水蒸汽的效率，人们采用低温水汽捕集器解决这一难题。众所周知，水汽的冷凝温度与水汽分压有关，例如水汽分压1.33x10^-1Pa则冷凝温度为-89.6℃；水汽分压1.33x10^-3Pa则冷凝温度为-112.2℃。深冷水汽捕集器的工作原理就是将一个能降温至-120℃以下的制冷盘管放置到真空镀膜室内，通过其表面的低温冷凝效应，迅速捕集真空镀膜室里的水汽和其他残余气体，把这些气体冷凝成固相附在制冷盘管上，真空镀膜室内真空度就会迅速提高，从而大大缩短抽真空的时间，并获得镀膜室內洁净真空环境。

现在装有深冷水汽捕集器的真空镀膜机，一般都把制冷盘管安装在镀膜室的中央或侧壁上，运作过程是这样：在抽气阶段，当镀膜室进入几Pa时，即启动制冷装置，3～5分钟就可制冷到-120℃或更低温，低温盘管快速吸附冷凝水汽、油蒸汽，达到所要求真空度，进入镀膜作业，大大缩短抽气时间。镀膜完成后，在开炉门之前，必须让制冷盘管切换至热气除霜，约2分钟则迅速回温恢复至常温，以防止打开炉门后制冷盘管从大气中吸附大量水汽结霜，影响下一炉次抽真空。

上述的深冷水汽捕集器配置在真空镀膜室内，吸附水气直接高效，但有不尽合理之处：因为在开炉门前制冷盘管又必须回温解吸，己被制冷盘管吸附了的水汽、油汽、杂气会再释放回镀膜室，部分又被镀膜室壁、夹件和工件再重新吸附而受污染。经多次镀膜作业，镀膜室被反复解吸的杂气污染，污染物会不断积累，镀膜室的洁净度会不断下降。

为了解决上述问题，现有的一种方案为：将制冷盘管安装在扩散泵上面的高真空阀与镀膜室抽气口之间的管道内，在抽气口旁增设一个真空闸板阀，可以把装有制冷盘管的高真空阀与真空闸板阀之间的管道独立隔离开来，抽高真空时打开高真空阀和真空闸板阀，制冷盘管制冷冷凝除水汽，不抽高真空时关闭高真空阀和真空闸板阀，它们所隔离的管道中开有带阀门连接专用的机械泵抽气管道，可维持制冷盘管所在管道段的真空。上述这样连接安排必须变动传统的真空机组的抽气连接，即扩散泵由维持泵抽前级，镀膜室的粗抽泵(包括机械泵和罗茨泵)不与扩散泵连接，而直接与镀膜室连接抽低真空。另一种方案为：在高真空阀与镀膜室抽气口之间的管道中侧开一接口，连接一制冷盘管室，连接口处置有一闸板阀，与管道隔离，把制冷盘管置于该隔离室内，该隔离室由专用泵抽气。上述两种方案是相类似的，其优点在真空镀膜完毕后开启炉门之前，可先关闭闸板阀，从而将制冷盘管隔离，使得炉门的开启不会影响制冷盘管的工作，可以根据制冷盘管结霜情况再决定是否回温除霜，不需要每炉都回温除霜，更节能。回温除霜解吸的杂气能直接抽出镀膜室外，不会污染镀膜室。但这样设计的制冷盘管远离了镀膜室，不能直接吸附水气，降低了效率。

实用新型内容

本实用新型所要解决的技术问题，就是提供一种高效率真空镀膜机，其提高了吸附效率、工作效率，能使真空镀膜室内获得更洁净的真空环境。

解决上述技术问题，本实用新型采用的技术方案如下：