[实用新型]一种便携式双工位抽真空装置

权利要求书

1.一种便携式双工位抽真空装置，其特征在于，包括：分子泵、双级旋片泵、五通腔体、低真空电阻规、高真空电离规和真空挡板阀；所述双级旋片泵与所述分子泵串联连接后，通过所述分子泵与所述五通腔体相连接；所述五通腔体的其中两个连接端中的一个用于与所述低真空电阻规相连接，另一个用于与所述高真空电离规相连接；所述五通腔体的剩余两个连接端分别连有一个真空挡板阀。

2.根据权利要求1所述的便携式双工位抽真空装置，其特征在于，所述低真空电阻规与所述五通腔体连接的接口为KF25真空接头；所述高真空电离规与所述五通腔体连接的接口为KF40真空接头；所述真空挡板阀与所述五通腔体连接的接口为KF40真空接头；所述分子泵通过ISO160法兰口与所述五通腔体相连接。

3.根据权利要求1所述的便携式双工位抽真空装置，其特征在于，所述分子泵为风冷分子泵。

4.根据权利要求1所述的便携式双工位抽真空装置，其特征在于，所述真空挡板阀连接有用于连接低温容器器件所需的波纹管。

5.根据权利要求1所述的便携式双工位抽真空装置，其特征在于，还包括电气控制系统，所述电气控制系统分别与所述分子泵、双级旋片泵、低真空电阻规、高真空电离规电连接。

6.根据权利要求5所述的便携式双工位抽真空装置，其特征在于，还包括备用电源模块，所述电源模块与所述电气控制系统电连接。

7.根据权利要求6所述的便携式双工位抽真空装置，其特征在于，所述电源模块为小型发电机。

8.根据权利要求1所述的便携式双工位抽真空装置，其特征在于，还包括机箱；所述机箱的下端设置有万向轮。

9.根据权利要求8所述的便携式双工位抽真空装置，其特征在于，所述机箱上设置有拖车钩。