[实用新型]用于掩模基板的装置或生产线有效
| 申请号： | 201821706659.9 | 申请日： | 2018-10-19 |
| 公开（公告）号： | CN209778978U | 公开（公告）日： | 2019-12-13 |
| 发明（设计）人： | 斯蒂芬·詹姆斯·戴蒙德;周泽锋;吕海明;安德鲁·道格拉斯·皮尔森·格林;夏兰·约瑟夫·威尔森 | 申请（专利权）人： | P2I有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/04 | 分类号： | C23C14/04;C23C16/04 |
| 代理公司： | 44202 广州三环专利商标代理有限公司 | 代理人： | 王基才 |
| 地址： | 英国牛津郡艾*** | 国省代码： | 英国;GB |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 掩模材料 突片 基板 本实用新型 供给过程 掩模基板 掩模机构 施加 覆盖 | ||
1.一种用于掩模基板的装置，所述装置包括：
基板的进料；
突片的供给；
掩模材料的供给；以及
掩模机构，用于将掩模材料和突片施加到进料中的所述基板上，其中，所述掩模材料覆盖所述突片，且所述突片突出超过所述掩模材料。
2.根据权利要求1所述的装置，其中，每个突片包括支脚和支腿。
3.根据权利要求2所述的装置，其中，每个突片的所述支腿从所述支脚横向延伸。
4.根据权利要求3所述的装置，其中，每个突片的所述支腿从所述支脚以30度到150度范围内的角度延伸。
5.根据权利要求2所述的装置，其中，每个突片的所述支腿从所述支脚基本上垂直地延伸。
6.根据权利要求2所述的装置，其中，每个突片包括接合形成部，以帮助将所述掩模材料附接到所述突片上。
7.根据权利要求6所述的装置，其中，，所述接合形成部包括横向延伸元件。
8.根据权利要求6或7所述的装置，其中，所述支脚终止于所述接合形成部。
9.根据权利要求6或7所述的装置，其中，所述接合形成部包括钩，所述钩用于增强所述支脚与覆盖的掩模材料的接合。
10.根据权利要求6或7所述的装置，其中，所述支腿从所述支脚的第一端突出，且所述接合形成部从所述支脚的相对的第二端延伸。
11.根据权利要求2所述的装置，其中，每个突片是整体的。
12.根据权利要求2或6所述的装置，其中，每个突片包括材料的片材或卷材。
13.根据权利要求12所述的装置，其中，所述片材或卷材包括一个或多个弯曲部，所述弯曲部限定所述支脚和所述支腿的边界。
14.根据权利要求12所述的装置，其中，所述片材或卷材包括一个或多个弯曲部，所述弯曲部限定所述支脚和所述结合形成部之间的边界。
15.根据权利要求2所述的装置，其中，每个突片包括柔性材料。
16.根据权利要求15所述的装置，其中，所述柔性材料允许所述支腿相对于所述支脚弯曲。
17.根据权利要求2所述的装置，其中，每个突片的厚度范围为约0.05mm至1mm。
18.根据权利要求2所述的装置，其中，每个突片的宽度范围为1mm至10mm。
19.根据权利要求2所述的装置，其中，每个突片的所述支脚限定覆盖区域，所述覆盖区域的面积范围为1mm2至25mm2。
20.根据权利要求2所述的装置，其中，每个突片具有突出高度，从所述突片的支脚到支腿的突出端横向测量，所述突出高度的范围为1mm至10mm。
21.根据权利要求2所述的装置，其中，每个突片的重心位于突片的覆盖区域内，使得突片可以独立。
22.根据权利要求2所述的装置，其中，每个突片包括Shore A硬度至少为75和/或ShoreD硬度至少为50的已知材料。
23.根据权利要求2所述的装置，其中，每个突片包括金属或金属合金。
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