[实用新型]蒸汽递送容器组合件

权利要求书

1.一种用于汽化并递送汽化源材料的蒸汽递送容器组合件，所述容器组合件包括：

容器主体，其具有由基底和侧壁界定的内部体积，所述侧壁界定所述容器的内径并具有内部侧壁表面；

进气口和出气口，其与所述容器主体的所述内部体积流体连通地布置，所述进气口经调适以将第一气体供应到所述容器主体的所述内部体积；

排气式支撑托盘，其安置于所述内部体积内且邻近于所述容器主体的所述侧壁，所述支撑托盘经调适以在延伸于所述进气口与所述出气口之间的流径中支撑可汽化源材料；以及

热转移增强部件，其用以改善所述容器主体与所述排气式支撑托盘之间的热传导。

2.根据权利要求1所述的蒸汽递送容器组合件，其中所述热转移增强部件定位于所述容器侧壁与所述排气式支撑托盘之间，所述热转移增强部件经调适以减少所述容器主体侧壁与所述支撑托盘之间的任何气隙。

3.根据权利要求2所述的蒸汽递送容器组合件，其中所述热转移增强部件包含经调适以定位于所述容器主体侧壁与所述支撑托盘之间且与其接触的导热网衬。

4.根据权利要求1所述的蒸汽递送容器组合件，其中所述热转移增强部件包含从所述支撑托盘朝上延伸并与其接触的周界侧壁组合件，所述侧壁组合件经调适以朝向所述容器主体的所述侧壁向外径向地扩张，以增加所述支撑托盘与所述容器主体的所述内部侧壁表面之间的表面区域物理接触。

5.根据权利要求4所述的蒸汽递送容器组合件，其中所述侧壁组合件包含区段，所述区段部分地能够朝向所述容器主体的所述侧壁向外径向地扩张来在内部容器体积内使所述支撑托盘移位，以增加所述支撑托盘与所述容器主体的所述内部侧壁表面之间的表面区域物理接触。

6.根据权利要求4所述的蒸汽递送容器组合件，其中所述侧壁组合件的外径包含经调适以收纳C型环部件的凹槽或通道，所述C型环部件经调适以在容器主体内部体积内插入所述支撑托盘之后即刻压缩，并经调适以在内部容器体积内使所述支撑托盘移位，以增加所述支撑托盘与所述容器主体的所述内部侧壁表面之间的表面区域物理接触。

7.根据权利要求4所述的蒸汽递送容器组合件，其中所述周界侧壁组合件能够通过经调适以将朝外力引导到所述周界侧壁组合件以增加与所述容器主体内部侧壁的表面区域接触的螺钉机构朝外扩张，所述螺钉机构经进一步调适以在扩张配置中维持所述周界侧壁组合件。

8.根据权利要求1所述的蒸汽递送容器组合件，其中

第一排气式支撑托盘安置于所述内部体积内且邻近所述容器主体的所述侧壁，所述支撑托盘经调适以在延伸于所述进气口与所述出气口之间的流径中在第一表面上支撑可汽化源材料；且

所述热转移组合件安置于所述容器侧壁与在所述容器的所述内部体积内至少部分地由所述支撑托盘的所述第一表面支撑的第一支撑托盘之间，所述热转移组合件经进一步调适以在所述容器内支撑第二支撑托盘。

9.根据权利要求8所述的蒸汽递送容器组合件，其中所述热转移组合件包含多个非周边腿柱，所述非周边腿柱安置于所述第一支撑托盘的所述第一表面上且经配置以在所述容器内支撑所述第二支撑托盘，所述可汽化材料与内部容器侧壁直接接触地安置。

10.根据权利要求8所述的蒸汽递送容器组合件，其中所述热转移组合件安置于所述支撑托盘的径向边缘上并从所述径向边缘朝下延伸的间隔件部件，所述间隔件部件经调适以在所述容器内部体积内在所述容器基底上方支撑所述第一支撑托盘。