[实用新型]蒸汽递送容器组合件

说明书

本实用新型是针对一种蒸汽递送容器组合件。本实用新型是针对一种具有汽化器容器主体与定位在其中的至少一个支撑托盘之间的改善的热转移的汽化器或安瓿组合件。具体地说，提供了安置于容器主体与支撑托盘之间的热转移增强部件。在热转移增强部件或组合件的一个实例中，包含有完全或部分地围绕所述支撑托盘的导热网或衬里，所述导热网或衬里在所述支撑托盘与所述容器主体的内径或壁之间是楔形的。在相关实施例中，热转移增强部件包含可扩张支撑托盘侧壁以增加所述支撑托盘与所述容器主体内壁之间的物理接触。

相关申请的交叉引用

本实用新型依据35USC 119要求2017年10月20日提交的第62/574,931号美国临时专利申请的权益，所述美国临时专利申请的公开内容出于所有目的而由此以全文引用的方式并入本文中。

技术领域

本实用新型大体上涉及适用于使固态前驱体挥发以向例如气相沉积室或离子植入机等前驱体蒸汽利用处理系统且更具体地说向定位于汽化器容器内的支撑托盘组合件提供前驱体蒸汽的汽化器。

背景技术

在使用固相前驱体以供应用于蒸汽利用应用的前驱体蒸汽的过程中，已使用广泛多种汽化器。此类汽化器可包括容器并涵盖界定其中可存储固相前驱体并随后使其经受挥发条件来实现固相前驱体的升华或汽化来产生前驱体蒸汽的封闭内部体积。出于此类目的，汽化器容器或容器主体可由导热材料制成，并经加热以引起支撑托盘上的前驱体的挥发，和/或经加热载体气体可流经容器以产生引起从固态源前驱体材料夹带前驱体蒸汽的质量转移梯度。

因为容器主体和托盘组合件组合在大小方面不同，所以取决于应用、其之间的容限改变，同时增加在支撑托盘与容器主体的内部之间具有良好配合的难度。因此，随着安瓿或汽化器的大小已增大，固持固态前驱体的托盘和汽化器外壳(基底)的制造中的固有限制已指示两者的尺寸规范远难以满足，且已放松所述尺寸规范以免难以组装安瓿。这已在固持并支撑固态源前驱体的托盘与当前安瓿中的汽化器外壳的内部之间产生更大的间隙。此间隙可引起到固持前驱体的托盘的非平均热转移和固态源材料的非均匀消耗。因此，在半导体行业中需要改善支撑托盘与容器主体之间的热转移，而不大体上提高总体组合件的成本，且不提高必须增加施加到容器主体的外部的热以确保支撑托盘充分地加热以使前驱体材料升华的能量成本。

实用新型内容

安瓿或汽化器需要热来使固态或液态或结晶前驱体升华，因此可在气态状态下将其递送给半导体制造工艺。所使用加热器通常呈包围安瓿的加热护套或烘炉的形式，因此需要准确且一致地施加正确量的热以使安瓿内的前驱体材料升华。另外，新技术应用已增大在晶片制造中使用的固态化学物质的量，并已增大消耗量以及有效率地汽化尽可能多的前驱体材料同时维持极均匀的温度剖面的需要。此外，行业中的新应用需要更高的递送速率和对高值前驱体的更完全利用。对汽化器性能的增大的需求已标识出使用传统容器主体和支撑托盘组合件的当前汽化器设计的缺点。将有利的是改善利用具有支撑托盘的汽化器容器主体不具有大体上对终端用户提高材料、能量和劳动成本的当前前驱体汽化系统。