[实用新型]用于在片材上沉积掺杂涂层的夹具及沉积装置

权利要求书

1.一种用于在片材上沉积掺杂涂层的夹具，其特征在于，包括传动单元(1)和夹持单元(2)；

所述夹持单元(2)用于装载掺杂源(3)，所述传动单元(1)与所述夹持单元(2)连接，且所述传动单元(1)能够带动所述夹持单元(2)沿竖向运动。

2.根据权利要求1所述的用于在片材上沉积掺杂涂层的夹具，其特征在于，所述夹持单元(2)包括夹持部(21)和夹头(22)，所述掺杂源(3)通过所述夹头(22)装载在所述夹持部(21)上。

3.根据权利要求2所述的用于在片材上沉积掺杂涂层的夹具，其特征在于，所述传动单元(1)包括传动件(11)和转轴(12)，所述传动件(11)套设于所述转轴(12)上并与所述转轴(12)同轴运动，所述转轴(12)上设有外螺纹；

所述夹持部(21)上设置与所述转轴(12)螺纹连接的螺孔；所述夹持部(21)连接有用于限制其绕所述转轴(12)转动的限位件。

4.根据权利要求2所述的用于在片材上沉积掺杂涂层的夹具，其特征在于，所述传动单元(1)包括传动件(11)和固定轴，所述固定轴上设有外螺纹，所述传动件(11)设有与所述固定轴螺纹连接的螺孔；

所述夹持部(21)与所述传动件(11)枢接，且能随所述传动件(11)同步升降；所述夹持部(21)连接有限制其周向转动的限位件。

5.根据权利要求2所述的用于在片材上沉积掺杂涂层的夹具，其特征在于，所述传动单元(1)包括传动件(11)、转轴(12)和固定轴，所述固定轴上设有外螺纹，所述转轴(12)设有与所述固定轴螺纹连接的螺孔，所述传动件(11)套设于所述转轴(12)上并与所述转轴(12)同轴运动；

所述夹持部(21)与所述转轴(12)枢接，且能随所述转轴(12)同步升降；所述夹持部(21)连接有限制其周向转动的限位件。

6.根据权利要求3-5任意一项所述的用于在片材上沉积掺杂涂层的夹具，其特征在于，所述传动件(11)为齿轮、皮带轮或链轮。

7.根据权利要求3-5任意一项所述的用于在片材上沉积掺杂涂层的夹具，其特征在于，所述传动件(11)为铜质传动件；

和/或，所述夹持部(21)为铜质夹持部。

8.一种沉积装置，其特征在于，包括炉体，权利要求1-7任意一项所述的用于在片材上沉积掺杂涂层的夹具位于所述炉体内部并用于装载掺杂源(3)；

所述夹具与所述炉体可拆卸固定连接。

9.根据权利要求8所述的沉积装置，其特征在于，所述炉体内部设有衬底平台(4)，所述衬底平台(4)上设有可旋转样品台(5)和至少两个热丝固定架(7)，所述热丝固定架(7)通过电极柱(9)与所述衬底平台(4)连接，所述热丝固定架(7)之间设置有热丝(8)，所述可旋转样品台(5)位于所述热丝(8)的下方；

所述可旋转样品台(5)能够带动所述夹具的所述传动单元(1)运动，进而带动所述夹持单元(2)沿竖向运动。

10.根据权利要求9所述的沉积装置，其特征在于，所述可旋转样品台(5)与所述夹具的所述传动单元(1)之间采用齿轮传动、皮带传动或链传动。