[实用新型]用于在片材上沉积掺杂涂层的夹具及沉积装置

说明书

本实用新型提供了一种用于在片材上沉积掺杂涂层的夹具及沉积装置，涉及涂层沉积辅助设备技术领域。该夹具包括传动单元和夹持单元，夹持单元用于装载掺杂源，传动单元与夹持单元连接，且传动单元能够带动夹持单元沿竖向运动，该夹具可调整掺杂源与热丝之间的距离，实现待掺杂物质掺杂量的灵活调节，从而实现待掺杂物质的梯度掺杂，改善了现有沉积过程中掺杂源与热丝之间的距离无法调节，从而导致待掺杂物掺杂量无法灵活调节的缺陷；该夹具结构简单，操作方便，且不会改变沉积装置原有的结构和部件，为在片材上沉积掺杂涂层提供了工业依据。本实用新型还提供一种沉积装置，包括炉体和上述夹具，夹具位于炉体内并对掺杂源进行装载。

技术领域

本实用新型涉及涂层沉积辅助设备技术领域，尤其是涉及一种用于在片材上沉积掺杂涂层的夹具及沉积装置。

背景技术

随着化学气相沉积金刚石技术的发展，越来越多的企业、科研院所对该项技术进行了系统的研究，其中一个研究的重要方面就是对金刚石进行掺杂，从而改变金刚石的力学、热学、电学、光学等方面的特性，使其具有更广阔的用途。金属掺杂能够有效改善涂层的内应力，改善膜基结合力。在进行金属掺杂时往往需要专门的夹具来固定金属掺杂源，金属掺杂源的位置(所处温度场)对于掺杂量有重要影响。研究表明，当基体与热丝的距离一定时，金属掺杂源离热丝越近，沉积得到的金刚石中的金属掺杂量越多，而金属掺杂源离热丝越远，沉积得到的金刚石中的金属掺杂量越少。

现有的金属掺杂装置是直接将金属掺杂源固定于热丝下方一定距离处，在沉积过程中无法实现掺杂源与热丝距离的调节，故金属掺杂量不可调节，也不能实现金属的梯度掺杂。

有鉴于此，特提出本实用新型能够解决上述问题中的至少一个。

实用新型内容

本实用新型的第一目的在于提供一种用于在片材上沉积掺杂涂层的夹具，在不改变沉积装置的基本结构的基础上，利用该夹具可调整掺杂源与热丝之间的距离，从而实现待掺杂物掺杂量的灵活调节，进而实现待掺杂物的梯度掺杂。

本实用新型的第二目的在于提供一种沉积装置，使用上述用于在片材上沉积掺杂涂层的夹具进行沉积掺杂操作，能够灵活调节待掺杂物掺杂量，实现待掺杂物的梯度掺杂。

为解决上述技术问题，本实用新型特采用如下技术方案：

本实用新型提供了一种用于在片材上沉积掺杂涂层的夹具，包括传动单元和夹持单元；

所述夹持单元用于装载掺杂源，所述传动单元与所述夹持单元连接，且所述传动单元能够在外界驱动下带动所述夹持单元沿竖向运动。

进一步的，在本实用新型技术方案的基础之上，所述夹持单元包括夹持部和夹头，所述掺杂源通过所述夹头装载在所述夹持部上。

进一步的，在本实用新型技术方案的基础之上，所述传动单元包括传动件和转轴，所述传动件套设于所述转轴上并与所述转轴同轴运动，所述转轴上设有外螺纹；

所述夹持部上设置与所述转轴螺纹连接的螺孔；所述夹持部连接有用于限制其绕所述转轴转动的限位件。

进一步的，在本实用新型技术方案的基础之上，所述传动单元包括传动件和固定轴，所述固定轴上设有外螺纹，所述传动件设有与所述固定轴螺纹连接的螺孔；

所述夹持部与所述传动件枢接，且能随所述传动件同步升降；所述夹持部连接有限制其周向转动的限位件。

进一步的，在本实用新型技术方案的基础之上，所述传动单元包括传动件、转轴和固定轴，所述固定轴上设有外螺纹，所述转轴设有与所述固定轴螺纹连接的螺孔，所述传动件套设于所述转轴上并与所述转轴同轴运动；

所述夹持部与所述转轴枢接，且能随所述转轴同步升降；所述夹持部连接有限制其周向转动的限位件。

进一步的，在本实用新型技术方案的基础之上，所述传动件为齿轮、皮带轮或链轮。