[实用新型]一种轻减装置有效

申请号：	201821710974.9	申请日：	2018-10-22
公开（公告）号：	CN209232750U	公开（公告）日：	2019-08-09
发明（设计）人：	张茜;任豪杰;仇金龙	申请（专利权）人：	旺天凯精密机器（昆山）有限公司
主分类号：	H01L21/677	分类号：	H01L21/677
代理公司：	苏州中合知识产权代理事务所(普通合伙) 32266	代理人：	赵晓芳
地址：	215300 江苏省苏***	国省代码：	江苏;32
权利要求书：	查看更多	说明书：	查看更多
摘要：
搜索关键词：	右立柱左立柱中间轴承底座本实用新型可左右移动右轴承左轴承料盒轴承垂直角速度传感器距离传感器平面平行稳定移动可调节晶圆上料限位平行监测检测保证
钻瓜网技术展会专利词库专利权人专利榜在售专利公布日期热门专利

【权利要求书】：

1.一种轻减装置，其特征在于，包括：

底座，所述底座上形成有水平面；

左立柱，所述左立柱可左右移动地设在所述底座上且垂直于所述水平面；

右立柱，所述右立柱可左右移动地设在所述底座上且垂直于所述水平面，所述左立柱与所述右立柱之间的间距可调节；

左轴承，所述左轴承的内圈套设在所述左立柱上；

右轴承，所述右轴承的内圈套设在所述右立柱上，所述左轴承与所述右轴承的形状尺寸相同且位于相同的高度；

中间轴承，所述中间轴承设在所述底座上且位于所述左立柱与所述右立柱之间，所述中间轴承的轴线与所述水平面平行，所述左立柱的轴线与所述右立柱的轴线同在第一平面上，所述中间轴承的轴线与所述第一平面平行。

2.根据权利要求1所述的轻减装置，其特征在于，所述左立柱与所述右立柱分别为多个，所述左立柱沿所述水平面的前后方向间隔开设置，所述左轴承与所述左立柱数量相等且每个所述左轴承的内圈套设在相应的所述左立柱上，所述右立柱沿所述水平面的前后方向间隔开设置，所述右轴承与所述右立柱数量相等且每个所述右轴承的内圈套设在相应的所述右立柱上，多个所述左立柱的轴线共同所在的平面与多个所述右立柱的轴线共同所在的平面平行。

3.根据权利要求1所述的轻减装置，其特征在于，所述左轴承在所述左立柱上的高度可调节，所述右轴承在所述右立柱上的高度可调节，所述中间轴承在竖直方向上的高度小于所述左轴承与所述右轴承在竖直方向上的高度。

4.根据权利要求1所述的轻减装置，其特征在于，还包括：

左液压杆，所述左液压杆的一端与所述左立柱相连，用于驱动所述左立柱左右移动；

右液压杆，所述右液压杆的一端与所述右立柱相连，用于驱动所述右立柱左右移动。

5.根据权利要求1所述的轻减装置，其特征在于，所述中间轴承为多个，多个所述中间轴承间隔开设置，多个所述中间轴承分别位于所述水平面上的多个所述左立柱的轴线共同所在的平面与多个所述右立柱的轴线共同所在的平面之间的位置。

6.根据权利要求1所述的轻减装置，其特征在于，还包括：

距离传感器，所述距离传感器用于检测所述左轴承与所述右轴承之间的距离并生成发出相应的距离信号；

报警器，所述报警器能够接收到所述距离信号，所述报警器接收到所述距离信号后开始报警或停止报警。

7.根据权利要求6所述的轻减装置，其特征在于，所述距离传感器构成为当所述左轴承与所述右轴承之间的距离大于距离阈值时所述距离传感器生成发出能够报警的距离信号，所述报警器接收到所述能够报警的距离信号后开始报警。

8.根据权利要求7所述的轻减装置，其特征在于，还包括：

第一角速度传感器，所述第一角速度传感器用于检测所述左轴承的外圈的角速度并生成发出相应的第一角速度信号；

所述报警器能够接收到所述第一角速度信号，所述报警器接收到所述第一角速度信号后开始报警或者停止报警。