[实用新型]一种坩埚及坩埚架转移装置

权利要求书

1.一种坩埚及坩埚架转移装置，其特征在于，包括用于固定于机械手的连接座(1)，所述连接座(1)上安装直线开合装置(2)，所述直线开合装置(2)上安装两组夹爪(3)，所述直线开合装置(2)能够带动两组所述夹爪(3)沿直线相对靠拢和分离；两组所述夹爪(3)分离的最远间距大于坩埚的直径，所述夹爪(3)相互靠近能够夹取坩埚；

两组所述夹爪(3)的上表面水平高度齐平，且所述夹爪(3)上表面与坩埚架的底面相匹配，用于伸入坩埚架的底部承托坩埚架。

2.根据权利要求1所述的坩埚及坩埚架转移装置，其特征在于，所述夹爪(3)上呈竖向开设定位孔(31)，所述定位孔(31)与坩埚架底部凸出设置的定位柱相互匹配插接。

3.根据权利要求2所述的坩埚及坩埚架转移装置，其特征在于，所述定位孔(31)的上端尺寸由上向下渐缩。

4.根据权利要求2所述的坩埚及坩埚架转移装置，其特征在于，一组所述夹爪(3)上沿长度方向开设两个所述定位孔(31)。

5.根据权利要求1所述的坩埚及坩埚架转移装置，其特征在于，两组所述夹爪(3)相互平行设置，两组所述夹爪(3)的运动方向与所述夹爪(3)的长度方向相互垂直。

6.根据权利要求1至5任一项所述的坩埚及坩埚架转移装置，其特征在于，还包括检测装置(4)，所述检测装置(4)对正所述夹爪(3)设置，用于检测所述夹爪(3)方向是否有坩埚或坩埚架。

7.根据权利要求6所述的坩埚及坩埚架转移装置，其特征在于，所述检测装置(4)通过固定架(41)安装在所述直线开合装置(2)的外壳的上方。

8.根据权利要求6所述的坩埚及坩埚架转移装置，其特征在于，所述检测装置(4)通过红外测距传感器或视觉传感器检测。

9.根据权利要求6所述的坩埚及坩埚架转移装置，其特征在于，所述直线开合装置(2)为平行气爪。