[实用新型]一种光刻机工件台移动调整装置

权利要求书

1.一种光刻机工件台移动调整装置，用于调整工件台与整机框架相对位置，其特征在于，包括：

三个对接部件，其中一个对接部件固定设置于工件台的第一侧，其余两个对接部件固定设置于工件台上与所述第一侧相对的第二侧，以实现将所述工件台与所述整机框架对接，所述整机框架上设置与对接部件匹配的对接接口；

至少三个气浮部件，分别设置于工件台上临近三个对接部件的位置，且至少一个气浮部件的支点与其临近的对接部件的支点在三维坐标中预定平面的投影位置重合。

2.如权利要求1所述的光刻机工件台移动调整装置，其特征在于，与固定设置于所述工件台的第一侧上的对接部件匹配的对接接口可沿所述整机框架的本体运动，与固定设置于所述工件台的第二侧上的对接部件匹配的对接接口与所述整机框架的本体固定连接。

3.如权利要求2所述的光刻机工件台移动调整装置，其特征在于，通过铰制孔螺钉或定位销将对接接口与所述整机框架的本体固定连接。

4.如权利要求1所述的光刻机工件台移动调整装置，其特征在于，所述三个对接部件均包括定位销，所述定位销与所述整机框架上对接接口匹配对接。

5.如权利要求4所述的光刻机工件台移动调整装置，其特征在于，所述三个对接部件还均包括本体和保险销，所述保险销设置于本体中，并可相对本体进行伸缩运动，所述保险销与所述定位销相垂直；所述整机框架上对应位置设置有与保险销对接的盲孔。

6.如权利要求4所述的光刻机工件台移动调整装置，其特征在于，还包括保险销，设置于所述工件台的任一侧上；所述整机框架上对应位置设置有与保险销对接的盲孔。

7.如权利要求1所述的光刻机工件台移动调整装置，其特征在于，还包括驱动部件，设置于工件台上，以驱动所述工件台运动。

8.如权利要求7所述的光刻机工件台移动调整装置，其特征在于，所述工件台与所述整机框架对接的对接面与所述驱动部件的发力面重合。

9.如权利要求1～8中任一项所述的光刻机工件台移动调整装置，其特征在于，所述三个对接部件中至少一个对接部件沿垂直于所述工件台的第一侧或第二侧的方向上设置有柔性结构。

10.如权利要求1～8中任一项所述的光刻机工件台移动调整装置，其特征在于，所述三个对接部件与对应的三个对接接口之间小间隙配合。

11.如权利要求1～8中任一项所述的光刻机工件台移动调整装置，其特征在于，所述三个对接部件包括第一对接部件、第二对接部件和第三对接部件，所述第一对接部件固定设置于工件台的第一侧，所述第二对接部件和所述第三对接部件固定设置于工件台的第二侧，所述第二对接部件靠近工件台的表面设置；与所述第一对接部件和所述第三对接部件匹配对接的对接接口均为圆孔结构，与所述第二对接部件匹配对接的对接接口为腰孔结构，腰孔结构的长轴与第一对接部件和所述第二对接部件的中心连线共线。