[实用新型]一种光刻机工件台移动调整装置

说明书

本实用新型公开一种光刻机工件台移动调整装置，所述光刻机工件台移动调整装置包括：三个对接部件，其中一个对接部件固定设置于工件台的第一侧，其余两个对接部件固定设置于工件台上与所述第一侧相对的第二侧，以实现将所述工件台与整机框架对接，所述整机框架上设置与对接部件匹配的对接接口；至少三个气浮部件，分别设置于工件台上临近三个对接部件的位置，且至少一个气浮部件的支点与其临近的对接部件在三维坐标中预定平面的投影位置重合。由于气浮部件的支点与其临近的对接部件在三维坐标中预定平面的投影位置重合，缩短了光刻机工件台移动调整装置的运动支点与定位支点之间的距离，提高了装置结构的稳定性及重复性。

技术领域

本实用新型涉及半导体设备技术领域，尤其涉及一种光刻机工件台移动调整装置。

背景技术

目前，光刻机的工件台开始朝着采用平衡质量块抵消运动反力或者双硅片的方向发展。光刻机工件台的结构越来越复杂，且其尺寸和质量也越来越大，目前设计的工件台质量达到4吨。工件台在安装和定期维修维护后重安装时需要将工件台移入或移出整机框架进行操作，但由于工件台的尺寸、重量和位置精度等因素的影响，使得移动工件台变得很困难。

专利号为200910047579.6的中国专利提出一种光刻机工件台移动调整装置，该装置可以较好的解决上述问题，但是该光刻机工件台移动调整装置在长期使用过程中，会出现运动部件支点变形较大，结构稳定性、重复性不佳，甚至出现工件台相对主基板对接精度不准的现象。

针对现有技术中光刻机工件台移动调整装置存在的不足，本领域技术人员一直在寻找解决的方法。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种光刻机工件台移动调整装置，以解决现有技术中光刻机工件台移动调整装置存在的不足。

为了解决上述技术问题，本实用新型提供一种光刻机工件台移动调整装置，用于调整工件台与整机框架相对位置，所述光刻机工件台移动调整装置，包括：

三个对接部件，其中一个对接部件固定设置于工件台的第一侧，其余两个对接部件固定设置于工件台上与所述第一侧相对的第二侧，以实现将所述工件台与所述整机框架对接，所述整机框架上设置与对接部件匹配的对接接口；

至少三个气浮部件，分别设置于工件台上临近三个对接部件的位置，且至少一个气浮部件的支点与其临近的对接部件的支点在三维坐标中预定平面的投影位置重合。

可选的，在所述的光刻机工件台移动调整装置中，与固定设置于所述工件台的第一侧上的对接部件匹配的对接接口可沿所述整机框架的本体运动，与固定设置于所述工件台的第二侧上的对接部件匹配的对接接口与所述整机框架的本体固定连接。

可选的，在所述的光刻机工件台移动调整装置中，通过铰制孔螺钉或定位销将对接接口与所述整机框架的本体固定连接。

可选的，在所述的光刻机工件台移动调整装置中，所述三个对接部件均包括定位销，所述定位销与所述整机框架上对接接口匹配对接。

可选的，在所述的光刻机工件台移动调整装置中，所述三个对接部件还均包括本体和保险销，所述保险销设置于本体中，并可相对本体进行伸缩运动，所述保险销与所述定位销相垂直；所述整机框架上对应位置设置有与保险销对接的盲孔。

可选的，在所述的光刻机工件台移动调整装置中，还包括保险销，设置于所述工件台的任一侧上；所述整机框架上对应位置设置有与保险销对接的盲孔。

可选的，在所述的光刻机工件台移动调整装置中，还包括驱动部件，设置于工件台上，以驱动所述工件台运动。

可选的，在所述的光刻机工件台移动调整装置中，所述工件台与所述整机框架对接的对接面与所述驱动部件的发力面重合。