[实用新型]蒸镀装置

权利要求书

1.一种蒸镀装置，其特征在于，包括

腔体；

设于所述腔体内的蒸镀源；

设于所述腔体内且位于所述蒸镀源上方的载片架，所述载片架用于放置待蒸镀基板；以及

设于所述载片架与所述蒸镀源之间的监测部件，所述监测部件包括晶振探测器以及承载平台，所述承载平台设有用于放置晶振片的第一开口，所述承载平台可转动用以切换所述晶振片，所述晶振探测器用以通过监测所述晶振片的振动频率来检测所述蒸镀源的蒸镀速率。

2.根据权利要求1所述的蒸镀装置，其特征在于，所述第一开口的数量为多个。

3.根据权利要求2所述的蒸镀装置，其特征在于，所述承载平台的中部具有用于供待蒸镀材料蒸发流通的第二开口，多个所述第一开口围绕所述第二开口均匀分布。

4.根据权利要求1所述的蒸镀装置，其特征在于，所述蒸镀装置还包括设于所述腔体内的支撑部件，所述支撑部件连接于所述承载平台。

5.根据权利要求4所述的蒸镀装置，其特征在于，所述支撑部件具有圆环形导轨，所述承载平台滑动连接于所述圆环形导轨，所述承载平台可相对所述圆环形导轨转动，以带动所述承载平台上的各个所述第一开口均能够圆周转动。

6.根据权利要求5所述的蒸镀装置，其特征在于，所述支撑部件还具有环形支撑台，所述圆环形导轨可转动连接在所述环形支撑台内；

所述蒸镀装置还包括限位部件，所述限位部件连接于所述环形支撑台，所述限位部件用于对所述承载平台进行限位。

7.根据权利要求6所述的蒸镀装置，其特征在于，所述承载平台突出于所述环形支撑台的上表面，所述承载平台的外周面具有限位槽，所述限位部件包括限位元件以及伸缩驱动元件，所述伸缩驱动元件设在所述环形支撑台上且连接于所述限位元件，所述伸缩驱动元件用于驱动所述限位元件插入所述限位槽以对所述承载平台进行限位或者复位。

8.根据权利要求1～7任意一项所述的蒸镀装置，其特征在于，所述监测部件还包括遮挡板，所述遮挡板连接在所述承载平台上以用来遮挡所述第一开口。

9.根据权利要求8所述的蒸镀装置，其特征在于，所述监测部件还包括设在所述承载平台上的遮挡驱动元件，所述遮挡驱动元件连接于所述遮挡板，所述遮挡驱动元件用于驱动所述遮挡板遮挡或打开所述第一开口。

10.根据权利要求4～7任意一项所述的蒸镀装置，其特征在于，所述蒸镀装置还包括设在所述腔体内的升降部件，所述升降部件连接于所述支撑部件，所述升降部件能够驱动所述支撑部件运动以带动所述承载平台上升或下降。