[实用新型]蒸镀装置

说明书

本实用新型涉及一种蒸镀装置。该蒸镀装置包括腔体；设于所述腔体内的蒸镀源；设于所述腔体内且位于所述蒸镀源上方的载片架，所述载片架用于放置待蒸镀基板；以及设于所述载片架与所述蒸镀源之间的监测部件，所述监测部件包括晶振探测器以及承载平台，所述承载平台设有用于放置晶振片的第一开口，所述承载平台可转动用以切换所述晶振片，所述晶振探测器用以通过监测所述晶振片的振动频率来检测所述蒸镀源的蒸镀速率。当晶振片表面附着的材料达到一定量需要对其进行更换时，工人在腔体的仓门处即可通过转动承载平台，实现对处于腔体内不同位置的晶振片进行更换，无需进入腔体内部，操作简单方便，且不会造成腔体内环境的污染。

技术领域

本实用新型涉及显示设备制造技术领域，特别是涉及一种蒸镀装置。

背景技术

有机发光二极管(Organic Light Emitting Diode)具有自发光、广视角、对比度高、耗电低、响应速度极快等优点。目前，制作有机发光二极管的主要方式是在真空环境下，使用蒸镀装置在基板上沉积各种功能层，形成OLED器件。

在蒸镀OLED器件的功能层时，通常利用晶振探测器对基板上沉积材料的速率及厚度进行监测。晶振探测器监测的原理是通过晶振探测器对晶振片的振动频率进行监测，进而对基板上沉积材料的速率及厚度进行监控。但当晶振片表面附着的材料达到一定量时，会影响晶振片的振动频率，从而影响晶振探测器监测的准确性。为保证监测的准确性，需对晶振片进行更换。而晶振片位于真空腔体内的不同位置，工人无法在真空腔体外对所有晶振片直接进行更换，需要进入真空腔体内更换。这样操作极不方便，且容易造成真空腔体内环境的污染。

实用新型内容

基于此，有必要针对传统的蒸镀装置中晶振片不易更换的问题，提供一种易于更换晶振片的蒸镀装置。

具体的技术方案如下：

一种蒸镀装置，包括

腔体；

设于所述腔体内的蒸镀源；

设于所述腔体内且位于所述蒸镀源上方的载片架，所述载片架用于放置待蒸镀基板；以及

设于所述载片架与所述蒸镀源之间的监测部件，所述监测部件包括晶振探测器以及承载平台，所述承载平台设有用于放置晶振片的第一开口，所述承载平台可转动用以切换所述晶振片，所述晶振探测器用以通过监测所述晶振片的振动频率来检测所述蒸镀源的蒸镀速率。

在其中一个实施例中，所述第一开口的数量为多个。

在其中一个实施例中，所述承载平台的中部具有用于供待蒸镀材料蒸发流通的第二开口，多个所述第一开口围绕所述第二开口均匀分布。

在其中一个实施例中，所述蒸镀装置还包括设于所述腔体内的支撑部件，所述支撑部件连接于所述承载平台。

在其中一个实施例中，所述支撑部件具有圆环形导轨，所述承载平台滑动连接于所述圆环形导轨，所述承载平台可相对所述圆环形导轨转动，以带动所述承载平台上的各个所述第一开口均能够圆周转动。

在其中一个实施例中，所述支撑部件还具有环形支撑台，所述圆环形导轨可转动连接在所述环形支撑台内；

所述蒸镀装置还包括限位部件，所述限位部件连接于所述环形支撑台，所述限位部件用于对所述承载平台进行限位。

在其中一个实施例中，所述承载平台突出于所述环形支撑台的上表面，所述承载平台的外周面具有限位槽，所述限位部件包括限位元件以及伸缩驱动元件，所述伸缩驱动元件设在所述环形支撑台上且连接于所述限位元件，所述伸缩驱动元件用于驱动所述限位元件插入所述限位槽以对所述承载平台进行限位或者复位。

在其中一个实施例中，所述监测部件还包括遮挡板，所述遮挡板连接在所述承载平台上以用来遮挡所述第一开口。