[实用新型]硅片多线切割机的自动循环喷淋装置

权利要求书

1.硅片多线切割机的自动循环喷淋装置，其特征在于：包括循环系统、设置在导线辊(3)上方的喷淋装置(1)以及设置在导线辊(3)下方的料盒(2)；所述料盒(2)内设置有过滤网(4)；

所述循环系统包括水泵(9)、导管(6)、冷却液存储箱(8)、供液泵(7)；所述料盒(2)内腔的底部通过导管(6)与水泵(9)连通，所述水泵(9)与冷却液存储箱(8)连通；所述供液泵(7)与冷却液存储箱(8)连通，所述供液泵(7)与喷淋装置(1)连通；

所述喷淋装置(1)包括安装板(11)；所述安装板(11)的一端的下表面设置有补液箱(12)，另一端的下表面设置有布液板(13)；所述补液箱(12)上设置有补液管(114)；所述布液板(13)与补液箱(12)之间设置有横向均匀分布的喷头安装座(18)；所述喷头安装座(18)上设置有第一转轴(19)；所述第一转轴(19)上固定安装有喷头旋转座(111)；所述第一转轴(19)一端穿过喷头安装座(18)，另一端设置有驱动电机(110)；所述喷头旋转座(111)上设置有喷头(112)；所述喷头(112)通过软管(113)与补液箱(12)连通；所述供液泵(7)与补液管(114)连通；所述喷头(112)的喷淋方向指向布液板(13)；

所述布液板(13)通过第二转轴(115)与安装板(11)铰接；所述第二转轴(115)的一端设置有转杆(17)；所述转杆(17)的一端与第二转轴(115)固定连接，另一端为弧形端面；所述安装板(11)上方设置有倒U形安装槽(14)，所述转杆(17)具有弧形端面的一端延伸到倒U形安装槽(14)内；所述转杆(17)的两侧均安装有锲块(15)；所述锲块(15)位于倒U形安装槽(14)内，所述倒U形安装槽(14)顶部设置有两根锁紧螺栓(16)；所述锁紧螺栓(16)一端插入到倒U形安装槽(14)内，且与锲块(15)接触；所述锲块(15)与锁紧螺栓(16)一一对应。

2.如权利要求1所述的硅片多线切割机的自动循环喷淋装置，其特征在于：所述布液板(13)两侧设置有挡板(132)。

3.如权利要求2所述的硅片多线切割机的自动循环喷淋装置，其特征在于：所述布液板(13)两侧的挡板(132)之间设置有均匀分布的凸台(131)，所述凸台(131)的高度由布液板(13)与安装板(11)铰接的一端向另一端依次递减。