[实用新型]硅片多线切割机的自动循环喷淋装置

说明书

本实用新型公开了一种能够使得冷却液均匀洒在切割线上，并且能够减少冷却液用量的硅片多线切割机的自动循环喷淋装置。该硅片多线切割机的自动循环喷淋装置，包括循环系统、设置在导线辊上方的喷淋装置以及设置在导线辊下方的料盒；所述料盒内设置有过滤网；所述循环系统包括水泵、导管、冷却液存储箱、供液泵；所述料盒内腔的底部通过导管与水泵连通，所述水泵与冷却液存储箱连通；所述供液泵与冷却液存储箱连通，所述供液泵与喷淋装置连通。采用该硅片多线切割机的自动循环喷淋装置，能够延长切割线的使用寿命，能够减少冷却液的使用量，能够降低成本。

技术领域

本实用新型涉及硅片切割，尤其是一种硅片多线切割机的自动循环喷淋装置。

背景技术

众所周知的：硅片是半导体和光伏领域的主要生产材料。硅片多线切割技术是目前世界上比较先进的硅片加工技术，它不同于传统的刀锯片、砂轮片等切割方式，也不同于先进的激光切割和内圆切割，它的原理是通过一根高速运动的钢线带动附着在钢丝上的切割刃料对硅棒进行摩擦，从而达到切割效果。在整个过程中，钢线通过十几个导线轮的引导，在主线辊上形成一张线网，而待加工工件通过工作台的下降实现工件的进给。硅片多线切割技术与其他技术相比有：效率高，产能高，精度高等优点。硅片多线切割技术是目前采用最广泛的硅片切割技术。

其中钢线在对硅片进行切割时，由于摩擦会使得钢线的温度升高，因此为了降低钢线的温度一般均设置有钢线冷却液喷淋装置，现有的冷却液喷淋装置大多都采用喷头；由于喷头的位置固定，因此使得导线辊上的钢线网中每条钢线接收到的冷却液不均匀因此会造成钢线各个部位的温度不均，从而降低钢线的使用寿命。

实用新型内容

本实用新型所要解决的技术问题是提供一种能够使得冷却液均匀洒在切割线上，并且能够减少冷却液用量的硅片多线切割机的自动循环喷淋装置。

本实用新型解决其技术问题所采用的技术方案是：硅片多线切割机的自动循环喷淋装置，包括循环系统、设置在导线辊上方的喷淋装置以及设置在导线辊下方的料盒；所述料盒内设置有过滤网；

所述循环系统包括水泵、导管、冷却液存储箱、供液泵；所述料盒内腔的底部通过导管与水泵连通，所述水泵与冷却液存储箱连通；所述供液泵与冷却液存储箱连通，所述供液泵与喷淋装置连通；

所述喷淋装置包括安装板；所述安装板的一端的下表面设置有补液箱，另一端的下表面设置有布液板；所述补液箱上设置有补液管；所述布液板与补液箱之间设置有横向均匀分布的喷头安装座；所述喷头安装座上设置有第一转轴；所述第一转轴上固定安装有喷头旋转座；所述第一转轴一端穿过喷头安装座，另一端设置有驱动电机；所述喷头旋转座上设置有喷头；所述喷头通过软管与补液箱连通；所述供液泵与补液管连通；所述喷头的喷淋方向指向布液板；

所述布液板通过第二转轴与安装板铰接；所述第二转轴的一端设置有转杆；所述转杆的一端与第二转轴固定连接，另一端为弧形端面；所述安装板上方设置有倒U形安装槽，所述转杆具有弧形端面的一端延伸到倒U形安装槽内；所述转杆的两侧均安装有锲块；所述锲块位于倒U形安装槽内，所述倒U形安装槽顶部设置有两根锁紧螺栓；所述锁紧螺栓一端插入到倒U形安装槽内，且与锲块接触；所述锲块与锁紧螺栓一一对应。

进一步的，所述布液板两侧设置有挡板。

进一步的，所述布液板两侧的挡板之间设置有均匀分布的凸台，所述凸台的高度由布液板与安装板铰接的一端向另一端依次递减。

本实用新型的有益效果是：本实用新型所述的硅片多线切割机的自动循环喷淋装置，由于设置有喷头以及布液板，通过喷头向布液板上喷淋冷却液，冷却液在布液板上形成层流，冷却液脱离布液板后形成水帘，从而使得冷却液能够均匀的洒在导线辊的切割线上，同时采用喷头喷洒的冷却液在布液板上形成层流，因此少量的冷却液即可实现，从而减少了冷却液的使用量。同时通过布液板下方的料盒对冷却液进行收集，然后在通过水泵抽回冷却液存储箱，从而能够对冷却液进行循环使用，能够减少冷却液的用量，降低成本。