[实用新型]一种硅片边缘电阻测试装置

权利要求书

1.一种硅片边缘电阻测试装置，其特征在于，包括：

相对设置的两个检测机构(1)，两个所述检测机构(1)能够相向移动，每个所述检测机构(1)朝向另一个所述检测机构(1)的一侧设置有至少一个检测组件，两个所述检测机构(1)的所述检测组件一一对应设置；及

设置于两个所述检测机构(1)之间的硅片输送机构，所述硅片输送机构能够将硅片(6)输送至两个所述检测机构(1)的两个相对应的所述检测组件之间。

2.根据权利要求1所述的硅片边缘电阻测试装置，其特征在于，所述检测组件沿所述检测机构(1)的长度方向并列设置有多个。

3.根据权利要求1所述的硅片边缘电阻测试装置，其特征在于，所述硅片输送机构的输送方向垂直于所述检测机构(1)的长度方向。

4.根据权利要求1-3任一项所述的硅片边缘电阻测试装置，其特征在于，所述检测机构(1)包括支撑架，两个所述检测机构(1)的所述支撑架能够相向移动，所述检测组件设置于所述支撑架上。

5.根据权利要求4所述的硅片边缘电阻测试装置，其特征在于，所述支撑架包括平行设置的两根支撑杆(11)及设置于两根所述支撑杆(11)之间的架杆(12)，所述检测组件包括若干个测试针(13)，所述测试针(13)设置于所述架杆(12)上，且电连接于电阻集成控制器(3)。

6.根据权利要求5所述的硅片边缘电阻测试装置，其特征在于，所述测试针(13)包括：

导电套筒(131)，设置于所述架杆(12)上且与所述电阻集成控制器(3)电连接；

顶针(132)，滑动连接于所述导电套筒(131)；及

弹簧(133)，连接于所述导电套筒(131)与所述顶针(132)之间。

7.根据权利要求6所述的硅片边缘电阻测试装置，其特征在于，所述检测组件还包括：

导电柱(14)，设置于所述架杆(12)上，且与所述导电套筒(131)连接；及

导电线(15)，所述导电线(15)的一端与所述导电柱(14)连接，另一端连接于所述电阻集成控制器(3)。

8.根据权利要求7所述的硅片边缘电阻测试装置，其特征在于，所述导电线(15)穿设于所述架杆(12)与所述支撑杆(11)内。

9.根据权利要求4所述的硅片边缘电阻测试装置，其特征在于，所述硅片边缘电阻测试装置还包括升降驱动机构(5)，所述升降驱动机构(5)与所述支撑架连接。

10.根据权利要求9所述的硅片边缘电阻测试装置，其特征在于，所述硅片边缘电阻测试装置还包括用于检测所述硅片(6)的位置的位置感应器(4)及升降控制器，所述位置感应器(4)、所述升降驱动机构(5)均与所述升降控制器电连接。