[实用新型]一种可以对靶材盒进行固定的热处理装置有效
申请号: | 201821736904.0 | 申请日: | 2018-10-25 |
公开(公告)号: | CN208917256U | 公开(公告)日: | 2019-05-31 |
发明(设计)人: | 王永超 | 申请(专利权)人: | 河南东微电子材料有限公司 |
主分类号: | C21D9/00 | 分类号: | C21D9/00;C23C14/34 |
代理公司: | 郑州浩翔专利代理事务所(特殊普通合伙) 41149 | 代理人: | 边延松 |
地址: | 450000 河南省郑州市航空港区新*** | 国省代码: | 河南;41 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 盖板 热处理装置本体 固定的 对靶 热处理装置 底板 本实用新型 螺栓 放置板 固定板 滑动板 限位柱 靶材 底板顶部 顶部设置 内壁滑动 定位板 定位孔 定位柱 固定块 限位杆 晃动 机箱 位柱 贯穿 延伸 配合 | ||
1.一种可以对靶材盒进行固定的热处理装置,包括底板(1),其特征在于:所述底板(1)顶部的左侧固定连接有热处理装置本体(2),所述热处理装置本体(2)的顶部设置有盖板(3),所述热处理装置本体(2)的顶部贯穿盖板(3)并延伸至盖板(3)的内部,所述盖板(3)的两侧均设置有螺栓(4),所述盖板(3)的底部固定连接有限位柱(5),所述限位柱(5)的内壁滑动连接有滑动板(6),所述滑动板(6)的底部固定连接有限位杆(7),所述限位杆(7)的左侧开设有定位孔(8),所述限位杆(7)的底部固定连接有固定板(9),所述热处理装置本体(2)内壁的底部固定连接有放置板(10),所述限位柱(5)左侧的底部设置有定位板(11),所述定位板(11)的右侧固定连接有定位柱(12),所述定位柱(12)的右侧依次贯穿限位柱(5)和定位孔(8)并延伸至限位柱(5)的外部固定连接有固定块(13),所述底板(1)顶部的右侧固定连接有机箱(14),所述机箱(14)的输出端与热处理装置本体(2)电连接。
2.根据权利要求1所述的一种可以对靶材盒进行固定的热处理装置,其特征在于:所述底板(1)的底部固定连接有支撑柱(15),所述支撑柱(15)的底部固定连接有支撑板(16)。
3.根据权利要求1所述的一种可以对靶材盒进行固定的热处理装置,其特征在于:所述盖板(3)的顶部固定连接有把手(19),所述把手(19)的表面设置有防滑纹。
4.根据权利要求1所述的一种可以对靶材盒进行固定的热处理装置,其特征在于:所述固定块(13)右侧的顶部和底部均设置有限位栓(17),所述限位栓(17)的左侧贯穿固定块(13)并延伸至限位柱(5)的内部。
5.根据权利要求1所述的一种可以对靶材盒进行固定的热处理装置,其特征在于:所述热处理装置本体(2)右侧的底部固定连接有固定立板(18),所述固定立板(18)的右侧与机箱(14)固定连接,所述固定立板(18)的底部与底板(1)固定连接。
6.根据权利要求1所述的一种可以对靶材盒进行固定的热处理装置,其特征在于:所述固定板(9)的两侧分别与热处理装置本体(2)内壁的两侧接触,所述固定板(9)与热处理装置本体(2)滑动连接。
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