[实用新型]一种可以对靶材盒进行固定的热处理装置

说明书

本实用新型公开了一种可以对靶材盒进行固定的热处理装置，包括底板，所述底板顶部的左侧固定连接有热处理装置本体，所述热处理装置本体的顶部设置有盖板，所述热处理装置本体的顶部贯穿盖板并延伸至盖板的内部，所述盖板的两侧均设置有螺栓，所述盖板的底部固定连接有限位柱，所述限位柱的内壁滑动连接有滑动板。本实用新型通过设置底板、热处理装置本体、盖板、螺栓、限位柱、滑动板、限位杆、定位孔、固定板、放置板、定位板、定位柱、固定块和机箱的配合，使固定板与放置板上的靶材盒紧密接触，防止靶材盒出现晃动的现象，从而达到了可以对靶材盒进行固定的效果，解决了现有的热处理装置不能对靶材盒进行固定的问题。

技术领域

本实用新型涉及靶材技术领域，具体为一种可以对靶材盒进行固定的热处理装置。

背景技术

镀膜靶材是通过磁控溅射、多弧离子镀或其他类型的镀膜系统在适当工艺条件下溅射在基板上形成各种功能薄膜的溅射源。简单说的话，靶材就是高速荷能粒子轰击的目标材料，用于高能激光武器中，不同功率密度、不同输出波形、不同波长的激光与不同的靶材相互作用时，会产生不同的杀伤破坏效应。例如：蒸发磁控溅射镀膜是加热蒸发镀膜、铝膜等。更换不同的靶材（如铝、铜、不锈钢、钛、镍靶等），即可得到不同的膜系（如超硬、耐磨、防腐的合金膜等）。

在生产靶材时需要用到热处理装置，一般的热处理装置在开启时都会出现震动的现象，但是现有的热处理装置的内部没有固定板，导致使用者在开启热处理装置靶材盒容易出现碰撞的现象，容易损毁靶材盒，从而降低了热处理装置的实用性。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种可以对靶材盒进行固定的热处理装置，具备可以对靶材盒进行固定的优点，解决了现有的热处理装置不能对靶材盒进行固定的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种可以对靶材盒进行固定的热处理装置，包括底板，所述底板顶部的左侧固定连接有热处理装置本体，所述热处理装置本体的顶部设置有盖板，所述热处理装置本体的顶部贯穿盖板并延伸至盖板的内部，所述盖板的两侧均设置有螺栓，所述盖板的底部固定连接有限位柱，所述限位柱的内壁滑动连接有滑动板，所述滑动板的底部固定连接有限位杆，所述限位杆的左侧开设有定位孔，所述限位杆的底部固定连接有固定板，所述热处理装置本体内壁的底部固定连接有放置板，所述限位柱左侧的底部设置有定位板，所述定位板的右侧固定连接有定位柱，所述定位柱的右侧依次贯穿限位柱和定位孔并延伸至限位柱的外部固定连接有固定块，所述底板顶部的右侧固定连接有机箱，所述机箱的输出端与热处理装置本体电连接。

优选的，所述底板的底部固定连接有支撑柱，所述支撑柱的底部固定连接有支撑板。

优选的，所述盖板的顶部固定连接有把手，所述把手的表面设置有防滑纹。

优选的，所述固定块右侧的顶部和底部均设置有限位栓，所述限位栓的左侧贯穿固定块并延伸至限位柱的内部。

优选的，所述热处理装置本体右侧的底部固定连接有固定立板，所述固定立板的右侧与机箱固定连接，所述固定立板的底部与底板固定连接。

优选的，所述固定板的两侧分别与热处理装置本体内壁的两侧接触，所述固定板与热处理装置本体滑动连接。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果如下：

1、本实用新型通过设置底板、热处理装置本体、盖板、螺栓、限位柱、滑动板、限位杆、定位孔、固定板、放置板、定位板、定位柱、固定块和机箱的配合，使固定板与放置板上的靶材盒紧密接触，防止靶材盒出现晃动的现象，从而达到了可以对靶材盒进行固定的效果，解决了现有的热处理装置不能对靶材盒进行固定的问题，该可以对靶材盒进行固定的热处理装置，具备可以对靶材盒进行固定的优点，使用者在开启热处理装置靶材盒不会出现碰撞的现象，防止损毁靶材盒，从而提高了热处理装置的实用性。