[实用新型]一种基于磁控共同溅射技术的真空镀膜装置

权利要求书

1.一种基于磁控共同溅射技术的真空镀膜装置，包括电机（1）、螺杆（2）、镀膜区（3）、靶材（4）、上料区（5）、离子源（6）、真空泵（7）、箱门（8）、样品台（9）、吸音器（10）、车轮（11）、滚轮（12）、轨道（13）、收料车（14）、从动伞齿轮（15）、箱体（16）、直齿轮（17）、主动伞齿轮（18）、光杆（19）和密封垫（20），其特征在于：所述电机（1）通过联轴器固定连接在箱体（16）上开设的通孔中，联轴器穿过通孔伸入箱体（16）内腔，联轴器另一端与齿轮轴的一端可拆卸连接，齿轮轴上安装主动伞齿轮（18），主动伞齿轮（18）与从动伞齿轮（15）啮合，每根螺杆（2）上设有相互啮合的直齿轮（17），螺杆（2）转动安装在样品台（9）上，样品台（9）左侧为镀膜区（3），样品台（9）右侧为上料区（5），螺杆（2）旁边设置有光杆（19），光杆（19）与螺杆（2）设置在同一平面上，且间隔分布，最外侧均为光杆（19），齿轮盒设置在箱体（16）内腔，并焊接在样品盒上，所述样品台的底部设有分布在传送模块两侧的滚轮（12），箱体（16）的底面设置有与该滚轮（12）配合的两条轨道（13），传送模块下方以及两条轨道（13）之间为收料车（14）通道，所述箱体（16）上固定连接若干个均匀分布的靶材（4），靶材（4）放置在电机右侧，靶材（4）右侧，位于箱体（16）上固定连接离子源（6），离子源（6）穿过箱体（16）作用在箱体（16）内腔，离子源（6）右侧，位于箱体（16）上表面固定连接真空泵（7），真空泵（7）通过泵管与箱体（16）上开设的通孔连通，箱体（16）右侧开设有矩形的通孔，箱门（8）通过合页转动连接在通孔的侧边上，箱门（8）的中间内壁上设置有一层密封垫（20），箱体（16）底部固定连接四个车轮（11），箱门（8）左侧放置一个吸音器（10），吸音器（10）固定连接在箱体（16）底部。

2.根据权利要求1所述的一种基于磁控共同溅射技术的真空镀膜装置，其特征在于：所述联轴器下端设置有锁紧机构。

3.根据权利要求1所述的一种基于磁控共同溅射技术的真空镀膜装置，其特征在于：所述螺杆（2）为φ20-40mm的螺杆（2），光杆（19）为φ15-25mm的光杆，光杆（19）与螺杆（2）之间间隔25-35mm。

4.根据权利要求1所述的一种基于磁控共同溅射技术的真空镀膜装置，其特征在于：所述箱体（16）与联轴器之间安装有动密封机构。

5.根据权利要求1所述的一种基于磁控共同溅射技术的真空镀膜装置，其特征在于：所述样品台（9）、螺杆（2）和光杆（19）均为304不锈钢。