[实用新型]一种化学气相沉积反应器

权利要求书

1.一种化学气相沉积反应器，包括外壳体(1)以及外壳体(1)前表面通过铰链铰接有装置门(2)，其特征在于：所述外壳体(1)内部底表面的上方焊接有连接块(10)，所述连接块(10)的上方一体成型有工作台(11)，所述工作台(11)异于所述连接块(10)的一侧设置有夹持组件(13)，所述夹持组件(13)包括卡槽(16)和固定块(12)，所述工作台(11)的上表面开设有卡槽(16)，所述卡槽(16)的上方设置有固定块(12)，固定块(12)的一侧焊接有卡块(14)，所述固定块(12)通过所述卡块(14)卡合于所述卡槽(16)内，所述外壳体(1)的下方设置有排气组件(8)，所述排气组件(8)包括电机(5)，所述电机(5)与所述外壳体(1)通过螺栓固定连接在一起，所述电机(5)与电源电性连接。

2.根据权利要求1所述的一种化学气相沉积反应器，其特征在于：所述夹持组件(13)还包括旋钮(15)和夹块(18)，所述卡块(14)的上方设置有旋钮(15)，所述卡块(14)与所述工作台(11)通过旋钮(15)固定连接，所述固定块(12)的一侧焊接有方形块，方形块异于所述固定块(12)的一端焊接有夹块(18)。

3.根据权利要求1所述的一种化学气相沉积反应器，其特征在于：所述排气组件(8)还包括风扇(9)和转杆，所述电机(5)的输出端设置有转杆，转杆的一端转接进所述电机(5)的输出端内，另一端通过螺纹旋合连接有风扇(9)。

4.根据权利要求1所述的一种化学气相沉积反应器，其特征在于：所述卡槽(16)内部的底表面开设有孔洞(17)，孔洞(17)内设置有纹路，旋钮(15)的一端焊接有螺杆，螺杆上设置有纹路，且螺杆上的纹路与孔洞(17)内的纹路相契合。

5.根据权利要求1所述的一种化学气相沉积反应器，其特征在于：所述装置门(2)的前表面上焊接有把手(3)，把手(3)下方的一侧设置有U形搭块(7)，U形搭块(7)和所述装置门(2)通过螺丝固定连接。

6.根据权利要求1所述的一种化学气相沉积反应器，其特征在于：所述外壳体(1)前表面靠近装置门(2)的位置焊接有衔接块(4)，所述衔接块(4)的一侧设置有L形杆(6)，L形杆(6)的一端设置有转钮，L形杆(6)通过转钮与衔接块(4)固定连接，另一端搭接在U形搭块(7)和所述装置门(2)形成的方槽内。

7.根据权利要求3所述的一种化学气相沉积反应器，其特征在于：所述风扇(9)共设置有两个，且两个所述风扇(9)以外壳体(1)底表面的中间位置对称。