[实用新型]一种用于硅片刷片机的刷洗转动装置

权利要求书

1.一种用于硅片刷片机的刷洗转动装置，包括工作台(2)、清洗腔底罩(4)和升降台(13)，其特征在于：所述的工作台(2)的上端安装有清洗腔底罩(4)，该清洗腔底罩(4)上端安装有清洗腔排水罩(5)，所述的清洗腔排水罩(5)上端中部安装有真空罩杯(19)，所述的清洗腔底罩(4)内竖直安装有高转速电机(15)，该高转速电机(15)上端的输出轴连接有驱动轴(20)，所述的驱动轴(20)的上端竖直穿过真空罩杯(19)与吸盘(7)相连，该驱动轴(20)内设置有连接吸盘(7)与真空罩杯(19)腔体的管路(21)，所述的真空罩杯(19)一侧开有与抽真空设备相连的接口(22)，所述的高转速电机(15)一侧设置有相配的减速装置，所述的工作台(2)的上端位于清洗腔底罩(4)的一侧竖直安装有摆杆轴座(10)，该摆杆轴座(10)内安装有上下运动的摆杆轴(11)，所述的摆杆轴(11)的上端一侧竖直安装有刷毛电机(9)，该刷毛电机(9)下端的输出轴上安装有圆盘刷(8)，所述的工作台(2)下方通过导杆(25)与底板(26)相连，该底板(26)的下端中部竖直安装有升降气缸(14)，所述的升降气缸(14)的活塞杆穿过底板(26)与升降台(13)相连，该升降台(13)的两侧套接在导杆(25)中部，所述的升降台(13)上端安装有与摆杆轴(11)下端相连的旋转气缸(12)。

2.根据权利要求1所述的一种用于硅片刷片机的刷洗转动装置，其特征在于：所述的减速装置包括减速电机(1)、主动带轮(16)和从动带轮(24)，所述的高转速电机(15)一侧安装有减速电机(1)，该减速电机(1)的输出轴上安装有主动带轮(16)，所述的主动带轮(16)通过皮带(23)与高转速电机(15)输出轴安装的从动带轮(24)相连。

3.根据权利要求1所述的一种用于硅片刷片机的刷洗转动装置，其特征在于：所述的清洗腔排水罩(5)的上端安装有清洗腔排风罩(6)，该清洗腔排风罩(6)一侧设置有排风通道(18)，所述的排风通道(18)一端与清洗腔底罩(4)一侧设置的排风管(3)相连。

4.根据权利要求3所述的一种用于硅片刷片机的刷洗转动装置，其特征在于：所述的清洗腔排风罩(6)的上端安装有清洗腔挡水罩(27)，该清洗腔挡水罩(27)的上方一侧设置有喷水管(17)。

5.根据权利要求1所述的一种用于硅片刷片机的刷洗转动装置，其特征在于：所述的清洗腔排水罩(5)的底部接有漏水管(28)。