[实用新型]一种化学气相沉积工艺排气烟囱

权利要求书

1.一种化学气相沉积工艺排气烟囱，其特征在于，包括烟囱本体(1)和用以向所述烟囱本体(1)通入高温气体的热风输入装置(2)，所述烟囱本体(1)通过热风输入管(3)与所述热风输入装置(2)相连。

2.根据权利要求1所述的化学气相沉积工艺排气烟囱，其特征在于，所述热风输入管(3)设有用以控制高温气体流量的风阀。

3.根据权利要求2所述的化学气相沉积工艺排气烟囱，其特征在于，所述热风输入装置(2)为有机废气处理设备，所述热风输入管(3)与所述有机废气处理设备的高温排气口相连。

4.根据权利要求3所述的化学气相沉积工艺排气烟囱，其特征在于，所述热风输入管(3)外周设有隔热层。

5.根据权利要求4所述的化学气相沉积工艺排气烟囱，其特征在于，所述隔热层为保温岩棉隔热层。

6.根据权利要求2至5任意一项所述的化学气相沉积工艺排气烟囱，其特征在于，所述风阀为电动风阀(4)，所述烟囱本体(1)设有用以检测烟气的当前温度的第一温度传感器(5)，还包括用以根据所述当前温度控制所述电动风阀(4)开度的控制装置。

7.根据权利要求6所述的化学气相沉积工艺排气烟囱，其特征在于，所述热风输入管(3)设有用以检测热风温度的第二温度传感器(6)，所述第二温度传感器(6)与所述控制装置相连。

8.根据权利要求7所述的化学气相沉积工艺排气烟囱，其特征在于，所述热风输入管(3)中设有用以提高高温气体流速的压缩机，所述压缩机与所述控制装置相连。