[实用新型]一种化学气相沉积工艺排气烟囱

说明书

本实用新型公开了一种化学气相沉积工艺排气烟囱，包括烟囱本体和用以向所述烟囱本体通入高温气体的热风输入装置，所述烟囱本体通过热风输入管与所述热风输入装置相连。热风输入装置能够产生高温气体，并通过热风输入管将高温气体通入烟囱本体中，进而使化学气相沉积工艺排气烟囱的排气温度升高。烟囱本体的排气口附近气体温度较高，使水蒸气无法凝结，从而减少了烟气中白烟的含量。

技术领域

本实用新型涉及光电产品制造技术领域，特别涉及一种化学气相沉积工艺排气烟囱。

背景技术

目前光电行业所采用的化学气相沉积工艺设备中包括洗涤塔，洗涤塔所排放的气体湿度较高，这一部分气体经化学气相沉积工艺排气烟囱排放后，水蒸气会在低温条件下凝结成“白烟”。随着生产环保标准的提高，对烟囱排放的白烟含量要求也越来越严格。

因此，如何降低化学气相沉积工艺排气烟囱所排放的气体中白烟的含量是本领域技术人员急需解决的技术问题。

实用新型内容

本实用新型的目的是提供一种化学气相沉积工艺排气烟囱，其通过提高排气温度，减少水蒸气凝结，进而降低烟气中的白烟含量。

为实现上述目的，本实用新型提供一种化学气相沉积工艺排气烟囱，包括烟囱本体和用以向所述烟囱本体通入高温气体的热风输入装置，所述烟囱本体通过热风输入管与所述热风输入装置相连。

优选地，所述热风输入管设有用以控制高温气体流量的风阀。

优选地，所述热风输入装置为有机废气处理设备，所述热风输入管与所述有机废气处理设备的高温排气口相连。

优选地，所述热风输入管外周设有隔热层。

优选地，所述隔热层为保温岩棉隔热层。

优选地，所述风阀为电动风阀，所述烟囱本体设有用以检测烟气的当前温度的第一温度传感器，还包括用以根据所述当前温度控制所述电动风阀开度的控制装置。

优选地，所述热风输入管设有用以检测热风温度的第二温度传感器，所述第二温度传感器与所述控制装置相连。

优选地，所述热风输入管中设有用以提高高温气体流速的压缩机，所述压缩机与所述控制装置相连。

本实用新型所提供的化学气相沉积工艺排气烟囱包括烟囱本体和热风输入装置，烟囱本体与热风输入装置通过热风输入管相连，热风输入装置能够产生高温气体，并通过热风输入管将高温气体通入烟囱本体中，进而使化学气相沉积工艺排气烟囱的排气温度升高。烟囱本体的排气口附近气体温度较高，使水蒸气无法凝结，从而减少了烟气中白烟的含量。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据提供的附图获得其他的附图。

图1为本实用新型所提供的化学气相沉积工艺排气烟囱的结构示意图。

其中，图1中的附图标记为：

烟囱本体1、热风输入装置2、热风输入管3、电动风阀4、第一温度传感器5、第二温度传感器6。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。