[实用新型]一种带循环冷却装置的激光划片机

权利要求书

1.一种带循环冷却装置的激光划片机，其特征在于：包括激光划片装置以及与其配合的循环冷却装置；所述激光划片装置包括机架、移动载台、移动激光装置和定位组件；所述机架包括底座和设于底座上并位于底座两侧的侧墙，底座的顶部设有凹槽；所述移动载台包括设于所述凹槽内的Y轴模组、及可滑动地设于Y轴模组上的载台组件，所述载台组件盛放晶片；所述移动激光装置包括设于所述侧墙上的X轴模组、及可滑动地设于X轴模组上的切割组件，所述X轴模组带动所述切割组件对所述载台组件上的晶片进行切割；所述定位组件包括设于所述切割组件上的第一定位装置、及固设于机架的至少一第二定位装置，所述第一定位装置和第二定位装置共同定位所述载台组件上的晶片；所述循环冷却装置包括设于底座下方的储液箱、与储液箱相连的第一水泵、与第一水泵相连的过滤器、与过滤器相连的第二水泵、与第二水泵相连的去离子机构以及与去离子机构相连的喷水嘴，喷水嘴设于切割组件上，所述凹槽的底部设有与储液箱相连的通孔。

2.根据权利要求1所述的带循环冷却装置的激光划片机，其特征在于：所述载台组件包括可滑动地设于Y轴模组的旋转装置、及设于所述旋转装置的透明载台，所述旋转装置驱动所述透明载台转动。

3.根据权利要求2所述的带循环冷却装置的激光划片机，其特征在于：所述透明载台包括用于盛放工件的转动板、及设于所述转动板上的转动轴，所述转动轴和所述旋转装置可拆卸地连接，所述旋转装置驱动转动轴带动所述转动板转动。

4.根据权利要求3所述的带循环冷却装置的激光划片机，其特征在于：所述定位组件还包括与第二定位装置连接的反射装置，所述第二定位装置包括有至少两个，每一第二定位装置设有一反射装置，所述Y轴模组驱动所述载台组件移动，使得所述转动轴位于两第二定位装置之间，所述第一定位装置朝向所述透明载台的顶面，每一第二定位装置通过一反射装置朝向所述透明载台的背面。

5.根据权利要求1所述的带循环冷却装置的激光划片机，其特征在于：所述Y轴模组包括设于机架的第一滑动架、设于所述第一滑动架的Y轴驱动件、及可滑动地设于所述第一滑动架并与所述Y轴驱动件连接的第一平移架，所述载台组件设于所述第一平移架，所述Y轴驱动件驱动第一平移架带动所述载台组件在第一滑动架上移动。

6.根据权利要求1-5任一所述的带循环冷却装置的激光划片机，其特征在于：所述移动激光装置还包括与所述X轴模组呈夹角设置的Z轴升降装置，所述切割组件设于所述Z轴升降装置上，所述X轴模组带动所述Z轴升降装置和所述切割组件横向移动，所述Z轴升降装置带动所述切割组件竖向移动。

7.根据权利要求6所述的带循环冷却装置的激光划片机，其特征在于：所述X轴模组包括第二滑动架、设于所述第二滑动架的X轴驱动件、及可滑动地设于所述第二滑动架并与所述X轴驱动件连接的第二平移架，所述Z轴升降装置设于所述第二平移架，所述X轴驱动件驱动所述第二平移架带动所述Z轴升降装置在所述第二滑动架上横向移动。

8.根据权利要求6所述的带循环冷却装置的激光划片机，其特征在于：所述Z轴升降装置包括与所述X轴模组连接的第三滑动架、设于所述第三滑动架的Z轴驱动件、及可滑动地设于所述第三滑动架并与所述Z轴驱动件连接的升降架，所述切割组件设于所述升降架，所述Z轴驱动件驱动所述升降架带动所述切割组件在所述第三滑动架上竖向移动。

9.根据权利要求6所述的带循环冷却装置的激光划片机，其特征在于：所述切割组件包括设于所述Z轴升降装置的固定架、及设于所述固定架的至少二激光头，所述第一定位装置设于一激光头上，所述喷水嘴设于另一激光头上，且喷水嘴与所述去离子机构之间设有第三水泵。