[实用新型]蒸发源装置、成膜装置以及电子设备的制造装置

权利要求书

1.一种蒸发源装置，包括配置在用于收容蒸镀材料的坩埚的外侧，并用于对所述坩埚进行加热的加热部，

其特征在于，

所述加热部具有热辐射面，用于向所述坩埚辐射热量，所述热辐射面的至少一部分与所述坩埚的外壁面的至少一部分相向设置，且所述热辐射面的形状和与之相向的坩埚外壁面的形状一致。

2.根据权利要求1所述的蒸发源装置，其特征在于，

所述加热部包括板状部件，所述热辐射面为所述板状部件的一个侧面。

3.根据权利要求2所述的蒸发源装置，其特征在于，

所述加热部包括热源部件，所述热源部件设置在所述板状部件的背离所述坩埚的一侧或者设置在所述板状部件的内部。

4.根据权利要求3所述的蒸发源装置，其特征在于，

所述热源部件包括迂回排布的线状热源。

5.根据权利要求4所述的蒸发源装置，其特征在于，

在所述线状热源中，在相邻部分之间配置有所述板状部件的一部分。

6.根据权利要求4所述的蒸发源装置，其特征在于，

所述板状部件的背离所述坩埚的一侧设有沟槽，所述线状热源设置在所述沟槽中。

7.根据权利要求6所述的蒸发源装置，其特征在于，

所述沟槽的深度大于或等于所述线状热源的直径。

8.根据权利要求1所述的蒸发源装置，其特征在于，

所述蒸发源装置还具有坩埚，所述坩埚的上表面设有多个用于喷出蒸镀材料的喷嘴。

9.根据权利要求8所述的蒸发源装置，其特征在于，

所述多个喷嘴被设置成垂直于所述坩埚的上表面。

10.根据权利要求8所述的蒸发源装置，其特征在于，

所述多个喷嘴被设置成至少最外侧的所述喷嘴朝向外侧倾斜。

11.根据权利要求10所述的蒸发源装置，其特征在于，

所述多个喷嘴被设置成越趋向中央其倾斜度越小。

12.根据权利要求10所述的蒸发源装置，其特征在于，

所述多个喷嘴被设置成靠向中央的所述喷嘴垂直于所述坩埚的上表面或与朝向外侧倾斜相反地朝向内侧倾斜。

13.根据权利要求1-12中任一项所述的蒸发源装置，其特征在于，

所述热辐射面的至少一部分设有黑色涂层或喷镀有黑色材料。

14.根据权利要求1-12中任一项所述的蒸发源装置，其特征在于，

所述热辐射面的至少一部分为粗糙面。

15.根据权利要求1-12中任一项所述的蒸发源装置，其特征在于，

所述热辐射面的至少一部分由高热放射率材料形成。

16.根据权利要求15所述的蒸发源装置，其特征在于，

所述高热放射率材料为陶瓷或不锈钢。

17.根据权利要求1-12中任一项所述的蒸发源装置，其特征在于，

所述加热部包括底部加热部和侧部加热部，分别用于对所述坩埚的底壁和侧壁进行加热。

18.根据权利要求17所述的蒸发源装置，其特征在于，

所述底部加热部设有贯通孔，用于支承所述坩埚的支承部件穿过所述贯通孔。