[实用新型]蒸发源装置、成膜装置以及电子设备的制造装置

说明书

本实用新型涉及一种蒸发源装置、成膜装置以及电子设备的制造装置。蒸发源装置包括：用于收容蒸镀材料的坩埚和配置在所述坩埚的外侧并用于对所述坩埚进行加热的加热部。所述加热部具有热辐射面，用于向所述坩埚辐射热量，所述热辐射面的至少一部分与所述坩埚的外壁面的至少一部分相向设置，且所述热辐射面的形状和与之相向的坩埚外壁面的形状一致。

技术领域

本实用新型涉及一种蒸发源装置、成膜装置以及电子设备的制造装置，尤其涉及一种能够均匀性高地加热坩埚的蒸发源装置、成膜装置以及电子设备的制造装置。

背景技术

有机EL显示器等有机电子设备经由使有机材料或金属材料等蒸镀的蒸镀工序而被制造。在蒸镀工序中使用的蒸发源装置具有一个或多个坩埚，通过加热收纳于坩埚内的蒸镀材料，使蒸镀材料的温度上升而使蒸镀材料蒸发或升华(以下简称为“蒸发”)并附着于基板的表面而进行成膜。一般而言，利用真空容器来收容蒸发源(包含蒸镀材料)并执行蒸镀作业。

一般而言，真空成膜装置具备真空容器。在真空容器的内部的上部设有基板保持单元和掩模台，在真空容器的底面设有蒸发源装置。蒸发源装置包括：用于收纳在基板上成膜的蒸镀材料的坩埚、加热器等。

作为蒸发源加热用的热源，一般使用封装加热器。封装加热器具有在管中穿过电热线的管状构造(后文简称为电热管)，通过粘贴而被固定在板上，电热管露出的面与坩埚相向配置。专利文献1公开了一种真空蒸发源，具有坩埚和由电热管构成的加热部。专利文献1的电热管以在电热管和坩埚壁面之间具有空间的方式卷绕在坩埚的周围。具体而言，加热部的电热管露出，在电热管与坩埚之间不存在其他部件。通过电热线通电发出的热加热坩埚，从而对坩埚中收纳的蒸镀材料进行加热并使之蒸发。由于电热管在固定在板上时，彼此之间存在间隙，因此导致坩埚的被加热面与作为热源的电热管之间的距离不均一，从而存在加热均匀性低的问题。

现有技术：

专利文献1：KR-10-2014-0075382

实用新型内容

本实用新型是为了解决上述问题而作出的，其目的在于提供一种能够均匀性高地加热坩埚的蒸发源装置、成膜装置以及电子设备的制造装置。

为了实现上述目的，本实用新型采用的技术方案如下：

一种蒸发源装置，包括配置在用于收容蒸镀材料的坩埚的外侧，并用于对所述坩埚进行加热的加热部，

其特征在于，

所述加热部具有热辐射面，用于向所述坩埚辐射热量，所述热辐射面的至少一部分与所述坩埚的外壁面的至少一部分相向设置，且所述热辐射面的形状和与之相向的坩埚外壁面的形状一致。

优选的是，所述加热部包括板状部件，所述热辐射面为所述板状部件的一个侧面。

优选的是，所述加热部包括热源部件，所述热源部件设置在所述板状部件的背离所述坩埚的一侧或者设置在所述板状部件的内部。

优选的是，所述热源部件包括迂回排布的线状热源。

优选的是，在所述线状热源中，在相邻部分之间配置有所述板状部件的一部分。

优选的是，所述板状部件的背离所述坩埚的一侧设有沟槽，所述线状热源设置在所述沟槽中。

优选的是，所述沟槽的深度大于或等于所述线状热源的直径。

一种蒸发源装置，包括配置在用于收容蒸镀材料的坩埚的外侧，并用于对所述坩埚进行加热的加热部，

其特征在于，

所述加热部具有板状部件和隔着所述板状部件与所述坩埚相向配置的线状热源，

所述线状热源嵌入所述板状部件。